ਟੈਫਲੋਨ ਕੋਟੇਡ ਸਿਰੇਮਿਕ ਐਂਡ ਇਫੈਕਟਰ - ਸੰਵੇਦਨਸ਼ੀਲ ਵੇਫਰ ਹੈਂਡਲਿੰਗ ਲਈ ਨਾਨ-ਸਟਿੱਕ ਸਤਹ
ਸੇਂਟ ਸੇਰਾ ਦਾ ਟੈਫਲੋਨ (PTFE) ਕੋਟੇਡ ਸਿਰੇਮਿਕ ਐਂਡ ਇਫੈਕਟਰ ਇੱਕ ਉੱਚ-ਸ਼ਕਤੀ ਵਾਲੇ ਐਲੂਮਿਨਾ ਸਬਸਟ੍ਰੇਟ ਨੂੰ ਇੱਕ ਸਮਾਨ, ਘੱਟ-ਰਗੜ PTFE ਕੋਟਿੰਗ (ਮੋਟਾਈ 15–30 μm) ਨਾਲ ਜੋੜਦਾ ਹੈ। ਇਹ ਕੋਟਿੰਗ ਬਹੁਤ ਘੱਟ ਰਗੜ ਗੁਣਾਂਕ (≤0.1), ਸ਼ਾਨਦਾਰ ਰਸਾਇਣਕ ਪ੍ਰਤੀਰੋਧ, ਅਤੇ ਨਾਨ-ਸਟਿੱਕ ਗੁਣ ਪ੍ਰਦਾਨ ਕਰਦੀ ਹੈ, ਵੇਫਰ ਅਡੈਸ਼ਨ ਨੂੰ ਰੋਕਦੀ ਹੈ ਅਤੇ ਬੈਕਸਾਈਡ ਗੰਦਗੀ ਨੂੰ ਖਤਮ ਕਰਦੀ ਹੈ। ਅੰਡਰਲਾਈੰਗ ਸਿਰੇਮਿਕ ਸਬਸਟ੍ਰੇਟ (99.8% Al₂O₃) ਉੱਚ ਲਚਕਦਾਰ ਤਾਕਤ (361–1000 MPa), ਪਹਿਨਣ ਪ੍ਰਤੀਰੋਧ, ਅਤੇ 260°C (ਕੋਟਿੰਗ ਸੀਮਾ) ਤੱਕ ਥਰਮਲ ਸਥਿਰਤਾ ਦੀ ਪੇਸ਼ਕਸ਼ ਕਰਦੀ ਹੈ। ਇਹ ਐਂਡ ਇਫੈਕਟਰ ਨਾਜ਼ੁਕ, ਪਤਲੇ, ਜਾਂ ਸਟਿੱਕੀ ਵੇਫਰਾਂ ਨੂੰ ਸੰਭਾਲਣ ਲਈ ਆਦਰਸ਼ ਹੈ (ਉਦਾਹਰਨ ਲਈ, ਫੋਟੋਰੇਸਿਸਟ ਕੋਟਿੰਗ ਜਾਂ ਰਸਾਇਣਕ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆਵਾਂ ਤੋਂ ਬਾਅਦ)।
ਨਿਰਧਾਰਨ (PTFE ਕੋਟਿੰਗ ਵਾਲੇ 99.8% Al₂O₃ ਸਬਸਟਰੇਟ 'ਤੇ ਆਧਾਰਿਤ):
| ਜਾਇਦਾਦ | ਮੁੱਲ |
| ਸਬਸਟਰੇਟ ਸਮੱਗਰੀ | 99.8% ਐਲੂਮਿਨਾ (ਹਾਥੀ ਦੰਦ) |
| ਕੋਟਿੰਗ ਸਮੱਗਰੀ | ਪੀਟੀਐਫਈ (ਟੈਫਲੌਨ) |
| ਕੋਟਿੰਗ ਮੋਟਾਈ | 15–30 ਮਾਈਕ੍ਰੋਮ |
| ਰਗੜ ਦਾ ਗੁਣਾਂਕ (ਕੋਟੇਡ) | ≤0.1 |
| ਸਬਸਟਰੇਟ ਫਲੈਕਸੁਰਲ ਸਟ੍ਰੈਂਥ (Al₂O₃) | 361 ਐਮਪੀਏ |
| ਸਬਸਟ੍ਰੇਟ ਕਠੋਰਤਾ (Al₂O₃) | 16 ਜੀਪੀਏ |
| ਸਬਸਟਰੇਟ ਘਣਤਾ | 3.93 ਗ੍ਰਾਮ/ਸੈ.ਮੀ.³ |
| ਵੱਧ ਤੋਂ ਵੱਧ ਓਪਰੇਟਿੰਗ ਤਾਪਮਾਨ (ਕੋਟਿੰਗ ਸੀਮਾ) | 260°C |
| ਸਤ੍ਹਾ ਦੀ ਖੁਰਦਰੀ (ਕੋਟਿੰਗ ਤੋਂ ਪਹਿਲਾਂ) | ਰਾ ≤0.4 μm |
| ਡਾਈਇਲੈਕਟ੍ਰਿਕ ਤਾਕਤ (ਸਬਸਟਰੇਟ) | 15×10⁶ ਵੋਲ/ਮੀਟਰ |
ਨੋਟ: PTFE ਕੋਟਿੰਗ ਵੱਧ ਤੋਂ ਵੱਧ ਤਾਪਮਾਨ ਨੂੰ 260°C ਤੱਕ ਸੀਮਤ ਕਰਦੀ ਹੈ; ਉੱਚ ਤਾਪਮਾਨ ਵਾਲੇ ਐਪਲੀਕੇਸ਼ਨਾਂ ਲਈ, ਬਿਨਾਂ ਕੋਟ ਕੀਤੇ ਸਿਰੇਮਿਕ ਜਾਂ ਹੋਰ ਕੋਟਿੰਗਾਂ 'ਤੇ ਵਿਚਾਰ ਕਰੋ।
ਐਪਲੀਕੇਸ਼ਨ:
- · ਫੋਟੋਰੇਸਿਸਟ ਕੋਟਿੰਗ (ਚਿਪਕੀਆਂ ਸਤਹਾਂ) ਤੋਂ ਬਾਅਦ ਵੇਫਰਾਂ ਨੂੰ ਸੰਭਾਲਣਾ
- · ਪਤਲੇ ਜਾਂ ਨਾਜ਼ੁਕ ਵੇਫਰਾਂ ਦਾ ਤਬਾਦਲਾ (ਚਿਪਕਣ ਤੋਂ ਰੋਕਦਾ ਹੈ)
- · ਸੈਮੀਕੰਡਕਟਰ ਨਿਰੀਖਣ ਅਤੇ ਮੈਟਰੋਲੋਜੀ ਟੂਲ
- · ਸਾਫ਼-ਸੁਥਰਾ ਕਮਰਾ ਆਟੋਮੇਸ਼ਨ ਜਿੱਥੇ ਕਣਾਂ ਦੀ ਗੰਦਗੀ ਨੂੰ ਘੱਟ ਤੋਂ ਘੱਟ ਕੀਤਾ ਜਾਣਾ ਚਾਹੀਦਾ ਹੈ
ਨਿਰਮਾਣ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ:
ਸਿਰੇਮਿਕ ਸਬਸਟਰੇਟ ਸਿੰਟਰਡ ਅਤੇ ਸ਼ੁੱਧਤਾ ਵਾਲੀ ਜ਼ਮੀਨ → ਸਤ੍ਹਾ ਰਫਨਿੰਗ (ਪਲਾਜ਼ਮਾ ਐਚ ਜਾਂ ਗਰਿੱਟ ਬਲਾਸਟ) → PTFE ਸਪਰੇਅ ਕੋਟਿੰਗ → 380°C 'ਤੇ ਹੀਟ ਕਿਊਰਿੰਗ → ਅੰਤਿਮ ਨਿਰੀਖਣ। ਹਰੇਕ ਐਂਡ ਇਫੈਕਟਰ ਦੀ ਕੋਟਿੰਗ ਮੋਟਾਈ (ਐਡੀ ਕਰੰਟ), ਅਡੈਸ਼ਨ (ਕਰਾਸ-ਕੱਟ ਟੈਸਟ ASTM D3359), ਅਤੇ ਰਗੜ ਦੇ ਗੁਣਾਂਕ ਲਈ ਜਾਂਚ ਕੀਤੀ ਜਾਂਦੀ ਹੈ।
ਗੁਣਵੱਤਾ ਕੰਟਰੋਲ:
ਪਿੰਨਹੋਲ ਜਾਂ ਬੁਲਬੁਲੇ ਲਈ 100% ਵਿਜ਼ੂਅਲ ਨਿਰੀਖਣ; ±5 μm ਦੇ ਅੰਦਰ ਕੋਟਿੰਗ ਮੋਟਾਈ ਇਕਸਾਰਤਾ; ਗਵਾਹ ਕੂਪਨ 'ਤੇ 90° ਮੋੜ ਟੈਸਟ ਤੋਂ ਬਾਅਦ ਕੋਈ ਡੀਲੇਮੀਨੇਸ਼ਨ ਨਹੀਂ। OEM ਸਹਿਣਸ਼ੀਲਤਾ (ਲੰਬਾਈ ±0.05 ਮਿਲੀਮੀਟਰ, ਸਮਤਲਤਾ ≤0.1 ਮਿਲੀਮੀਟਰ) ਲਈ ਆਯਾਮੀ ਜਾਂਚ।
ਬਿਨਾਂ ਕੋਟ ਕੀਤੇ ਜਾਂ ਹੋਰ ਕੋਟ ਕੀਤੇ ਜਾਣ ਵਾਲੇ ਪਦਾਰਥਾਂ ਨਾਲੋਂ ਫਾਇਦੇ:
- · ਨਾਨ-ਸਟਿੱਕ ਸਤਹ ਵੇਫਰ ਦੇ ਚਿਪਕਣ ਅਤੇ ਟੁੱਟਣ ਤੋਂ ਰੋਕਦੀ ਹੈ
- · ਸਿਰੇਮਿਕ ਕੋਟਿੰਗਾਂ ਵਿੱਚ ਸਭ ਤੋਂ ਘੱਟ ਰਗੜ ਗੁਣਾਂਕ
- · ਸ਼ਾਨਦਾਰ ਰਸਾਇਣਕ ਪ੍ਰਤੀਰੋਧ (ਐਸਿਡ, ਬੇਸ, ਘੋਲਕ)
- · ਸਮੱਗਰੀ ਦੇ ਤਬਾਦਲੇ ਨੂੰ ਰੋਕ ਕੇ ਕਣਾਂ ਦੀ ਪੈਦਾਵਾਰ ਨੂੰ ਘਟਾਉਂਦਾ ਹੈ।
ਸੀਮਾਵਾਂ (ਭੌਤਿਕ ਭਟਕਣਾ 'ਤੇ ਟਿੱਪਣੀਆਂ):
PTFE ਕੋਟਿੰਗ ਪ੍ਰਦਾਨ ਕੀਤੇ ਗਏ ਮਟੀਰੀਅਲ ਪ੍ਰਾਪਰਟੀ ਟੇਬਲਾਂ (Al₂O₃, ZrO₂, Si₃N₄, BeO) ਤੋਂ ਨਹੀਂ ਲਈ ਗਈ ਹੈ। ਸਬਸਟਰੇਟ ਵਿਸ਼ੇਸ਼ਤਾਵਾਂ ਸਪਲਾਈ ਕੀਤੇ ਡੇਟਾਸ਼ੀਟ (99.8% Al₂O₃) ਦੀ ਸਖਤੀ ਨਾਲ ਪਾਲਣਾ ਕਰਦੀਆਂ ਹਨ। ਕੋਟਿੰਗ ਵਿਸ਼ੇਸ਼ਤਾਵਾਂ ਉਦਯੋਗ-ਮਿਆਰੀ PTFE ਵਿਸ਼ੇਸ਼ਤਾਵਾਂ 'ਤੇ ਅਧਾਰਤ ਹਨ, ਕਿਉਂਕਿ ਕੋਈ ਕੋਟਿੰਗ ਡੇਟਾ ਪ੍ਰਦਾਨ ਨਹੀਂ ਕੀਤਾ ਗਿਆ ਸੀ। 260°C ਤੋਂ ਵੱਧ ਐਪਲੀਕੇਸ਼ਨਾਂ ਲਈ, ਇੱਕ ਅਣਕੋਟੇਡ ਸਿਰੇਮਿਕ ਐਂਡ ਇਫੈਕਟਰ ਦੀ ਸਿਫਾਰਸ਼ ਕੀਤੀ ਜਾਂਦੀ ਹੈ।*
ਕਸਟਮਾਈਜ਼ੇਸ਼ਨ:
150–1500 ਮਿਲੀਮੀਟਰ ਲੰਬਾਈ, ਟਿਪ ਆਕਾਰ (ਕਿਨਾਰੇ ਦੀ ਪਕੜ, ਬਰਨੌਲੀ, ਫਲੈਟ), ਪ੍ਰਤੀ OEM ਡਰਾਇੰਗ ਮਾਊਂਟਿੰਗ ਫਲੈਂਜ ਪੈਟਰਨਾਂ ਵਿੱਚ ਉਪਲਬਧ। ਅੰਸ਼ਕ ਕੋਟਿੰਗ (ਸਿਰਫ਼ ਸੰਪਰਕ ਖੇਤਰ) ਜਾਂ ਪੂਰੀ ਕਵਰੇਜ ਵਿਕਲਪਿਕ।
ਅਡੈਸ਼ਨ ਅਤੇ ਰਗੜ ਟੈਸਟਿੰਗ ਲਈ ਇੱਕ ਨਮੂਨੇ ਦੀ ਬੇਨਤੀ ਕਰੋ।
