ਸੀਵੀਡੀ / ਪੀਵੀਡੀ ਪ੍ਰੋਸੈਸ ਚੈਂਬਰਾਂ ਲਈ ਉੱਚ-ਸ਼ੁੱਧਤਾ ਵਾਲੀ ਐਲੂਮਿਨਾ ਸਿਰੇਮਿਕ ਰਿੰਗ
ਸੇਂਟ ਸੇਰਾ ਦੀ ਸਿਰੇਮਿਕ ਰਿੰਗ ਖਾਸ ਤੌਰ 'ਤੇ CVD (ਕੈਮੀਕਲ ਵਾਸ਼ਪ ਡਿਪੋਜ਼ੀਸ਼ਨ) ਅਤੇ PVD (ਭੌਤਿਕ ਵਾਸ਼ਪ ਡਿਪੋਜ਼ੀਸ਼ਨ) ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਚੈਂਬਰਾਂ ਵਿੱਚ ਵਰਤੋਂ ਲਈ ਤਿਆਰ ਕੀਤੀ ਗਈ ਹੈ। 99.8% ਉੱਚ-ਸ਼ੁੱਧਤਾ ਵਾਲੇ ਐਲੂਮਿਨਾ (Al₂O₃) ਤੋਂ ਨਿਰਮਿਤ, ਇਹ ਰਿੰਗ ਪਲਾਜ਼ਮਾ ਨੂੰ ਸੀਮਤ ਕਰਨ ਅਤੇ ਚੈਂਬਰ ਦੀਆਂ ਕੰਧਾਂ ਨੂੰ ਕਟੌਤੀ ਤੋਂ ਬਚਾਉਣ ਲਈ ਇੱਕ ਚੈਂਬਰ ਲਾਈਨਰ, ਫੋਕਸ ਰਿੰਗ, ਜਾਂ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਕਿੱਟ ਹਿੱਸੇ ਵਜੋਂ ਕੰਮ ਕਰਦੀ ਹੈ। ਇਹ ਸਮੱਗਰੀ ਸ਼ਾਨਦਾਰ ਪਲਾਜ਼ਮਾ ਪ੍ਰਤੀਰੋਧ, ਉੱਚ ਡਾਈਇਲੈਕਟ੍ਰਿਕ ਤਾਕਤ (15×10⁶ V/m), ਅਤੇ 1600°C ਤੱਕ ਥਰਮਲ ਸਥਿਰਤਾ ਪ੍ਰਦਾਨ ਕਰਦੀ ਹੈ, ਜੋ ਹਮਲਾਵਰ ਫਲੋਰੀਨ-ਅਧਾਰਤ ਪਲਾਜ਼ਮਾ ਵਾਤਾਵਰਣ ਵਿੱਚ ਲੰਬੀ ਸੇਵਾ ਜੀਵਨ ਨੂੰ ਯਕੀਨੀ ਬਣਾਉਂਦੀ ਹੈ। ਸਟੀਕ ਅਯਾਮੀ ਸਹਿਣਸ਼ੀਲਤਾ (ID/OD 'ਤੇ ±0.05 mm) ਅਤੇ ਸਮਤਲਤਾ (≤10 μm) ਇਕਸਾਰ ਵੇਫਰ ਕਿਨਾਰੇ ਦੀ ਸਥਿਤੀ ਨੂੰ ਸਮਰੱਥ ਬਣਾਉਂਦੀ ਹੈ, ਜਮ੍ਹਾਂ ਇਕਸਾਰਤਾ ਨੂੰ ਬਿਹਤਰ ਬਣਾਉਂਦੀ ਹੈ ਅਤੇ ਕਣ ਉਤਪਾਦਨ ਨੂੰ ਘਟਾਉਂਦੀ ਹੈ।
ਵਿਸ਼ੇਸ਼ਤਾਵਾਂ (99.8% Al₂O₃ 'ਤੇ ਆਧਾਰਿਤ):
| ਜਾਇਦਾਦ | ਮੁੱਲ |
| ਸਮੱਗਰੀ | 99.8% ਐਲੂਮਿਨਾ (ਹਾਥੀ ਦੰਦ) |
| ਘਣਤਾ | 3.93 ਗ੍ਰਾਮ/ਸੈ.ਮੀ.³ |
| ਪਾਣੀ ਸੋਖਣਾ | 0% |
| ਲਚਕਦਾਰ ਤਾਕਤ | 361 ਐਮਪੀਏ |
| ਫ੍ਰੈਕਚਰ ਦੀ ਮਜ਼ਬੂਤੀ | 3–4 MPa·m¹/² |
| ਵਿਕਰਸ ਕਠੋਰਤਾ | 16 ਜੀਪੀਏ |
| ਯੰਗ ਦਾ ਮਾਡਿਊਲਸ | 380 ਜੀਪੀਏ |
| ਥਰਮਲ ਚਾਲਕਤਾ | 32 ਵਾਟ/ਮੀਟਰ·ਕਲੋਮੀਟਰ |
| ਥਰਮਲ ਵਿਸਥਾਰ (25–1000°C) | 7.2×10⁻⁶/℃ |
| ਡਾਈਇਲੈਕਟ੍ਰਿਕ ਤਾਕਤ | 15×10⁶ ਵੋਲ/ਮੀਟਰ |
| ਖਾਸ ਵਿਰੋਧ | >10¹⁴ Ω·ਸੈ.ਮੀ. |
| ਵੱਧ ਤੋਂ ਵੱਧ ਓਪਰੇਟਿੰਗ ਤਾਪਮਾਨ | 1600°C |
ਐਪਲੀਕੇਸ਼ਨ:
- · ਸੀਵੀਡੀ ਚੈਂਬਰ ਫੋਕਸ ਰਿੰਗ ਅਤੇ ਐਜ ਰਿੰਗ
- · ਪੀਵੀਡੀ ਚੈਂਬਰ ਸ਼ੀਲਡ ਰਿੰਗ ਅਤੇ ਕਲੈਂਪ ਰਿੰਗ
- · ਐਚ ਚੈਂਬਰ ਲਾਈਨਰ ਅਤੇ ਕਵਰ ਰਿੰਗ
- · ਡਾਈਇਲੈਕਟ੍ਰਿਕ ਐਚ ਸਿਸਟਮਾਂ ਵਿੱਚ ਪਲਾਜ਼ਮਾ ਸੀਮਤ ਰਿੰਗ
ਨਿਰਮਾਣ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ:
ਆਈਸੋਸਟੈਟਿਕ ਪ੍ਰੈਸਿੰਗ → ਹਰੀ ਮਸ਼ੀਨਿੰਗ → 1600°C 'ਤੇ ਸਿੰਟਰਿੰਗ → CNC ID/OD ਪੀਸਣਾ → ਸਤ੍ਹਾ ਲੈਪਿੰਗ → ਅਲਟਰਾਸੋਨਿਕ ਸਫਾਈ → 100% CMM ਨਿਰੀਖਣ। ਅਤਿ-ਨਿਰਵਿਘਨ ਸਤ੍ਹਾ ਫਿਨਿਸ਼ (Ra ≤0.4 μm) ਕਣਾਂ ਦੇ ਚਿਪਕਣ ਨੂੰ ਘੱਟ ਤੋਂ ਘੱਟ ਕਰਦਾ ਹੈ।
ਗੁਣਵੱਤਾ ਕੰਟਰੋਲ:
- · 100% ਆਯਾਮੀ ਜਾਂਚ (ਆਈਡੀ, ਓਡੀ, ਮੋਟਾਈ, ਸਮਤਲਤਾ)
- · ਸਤ੍ਹਾ ਦੇ ਸੂਖਮ-ਦਰਦ ਲਈ ਡਾਈ ਪ੍ਰਵੇਸ਼ ਨਿਰੀਖਣ
- · ASTM D149 ਪ੍ਰਤੀ ਡਾਇਇਲੈਕਟ੍ਰਿਕ ਤਾਕਤ ਟੈਸਟ
- · 20× ਮਾਈਕ੍ਰੋਸਕੋਪ ਦੇ ਹੇਠਾਂ ਕੋਈ ਦਿਖਾਈ ਦੇਣ ਵਾਲਾ ਰੰਗ-ਬਿਰੰਗਾਪਣ ਜਾਂ ਪੋਰੋਸਿਟੀ ਨਹੀਂ
ਧਾਤ ਜਾਂ ਕੁਆਰਟਜ਼ ਰਿੰਗਾਂ ਨਾਲੋਂ ਫਾਇਦੇ:
- · ਫਲੋਰੀਨ ਪਲਾਜ਼ਮਾ ਵਿੱਚ ਐਲੂਮੀਨੀਅਮ ਰਿੰਗਾਂ ਨਾਲੋਂ 5-10× ਜ਼ਿਆਦਾ ਉਮਰ
- · ਪਤਲੀਆਂ ਫਿਲਮਾਂ ਵਿੱਚ ਕੋਈ ਧਾਤ ਦੀ ਦੂਸ਼ਣ ਨਹੀਂ
- · ਕੁਆਰਟਜ਼ ਨਾਲੋਂ ਵੱਧ ਪਲਾਜ਼ਮਾ ਪ੍ਰਤੀਰੋਧ (ਕੋਈ ਕਟੌਤੀ ਟੋਏ ਨਹੀਂ)
- · ਲੰਬੇ ਸਮੇਂ ਤੱਕ ਵਰਤੋਂ ਤੋਂ ਬਾਅਦ ਵੀ 10¹⁴ Ω·cm ਤੋਂ ਵੱਧ ਬਿਜਲੀ ਦੇ ਇਨਸੂਲੇਸ਼ਨ ਨੂੰ ਬਣਾਈ ਰੱਖਦਾ ਹੈ।
ਵਿਕਲਪਕ ਸਮੱਗਰੀ — ਸਿਲੀਕਾਨ ਨਾਈਟ੍ਰਾਈਡ (Si₃N₄):
ਉਹਨਾਂ ਐਪਲੀਕੇਸ਼ਨਾਂ ਲਈ ਜਿਨ੍ਹਾਂ ਨੂੰ ਹੋਰ ਵੀ ਉੱਚ ਫ੍ਰੈਕਚਰ ਕਠੋਰਤਾ (6.2 MPa·m¹/²) ਅਤੇ ਬਿਹਤਰ ਥਰਮਲ ਸਦਮਾ ਪ੍ਰਤੀਰੋਧ (ਐਕਸਪੈਂਸ਼ਨ ਗੁਣਾਂਕ 3.2×10⁻⁶/℃) ਦੀ ਲੋੜ ਹੁੰਦੀ ਹੈ, Si₃N₄ ਰਿੰਗ ਉਪਲਬਧ ਹਨ। ਹਾਲਾਂਕਿ, ਜ਼ਿਆਦਾਤਰ CVD/PVD ਐਪਲੀਕੇਸ਼ਨਾਂ ਲਈ ਐਲੂਮਿਨਾ ਵਧੇਰੇ ਲਾਗਤ-ਪ੍ਰਭਾਵਸ਼ਾਲੀ ਹੈ। ਆਰਡਰ ਕਰਦੇ ਸਮੇਂ ਕਿਰਪਾ ਕਰਕੇ ਸਮੱਗਰੀ ਦੀ ਤਰਜੀਹ ਦੱਸੋ।
ਕਸਟਮਾਈਜ਼ੇਸ਼ਨ:
- · ਮਾਊਂਟਿੰਗ ਲਈ ਥਰੂ-ਹੋਲ, ਸਟੈਪਡ ਪ੍ਰੋਫਾਈਲ, ਜਾਂ ਕਾਊਂਟਰਬੋਰ
- · ਵਧੇ ਹੋਏ ਪਲਾਜ਼ਮਾ ਪ੍ਰਤੀਰੋਧ ਲਈ Y₂O₃-ਕੋਟੇਡ ਸਤਹ (ਵਿਕਲਪਿਕ)
- · ਪਾਰਟ ਨੰਬਰ / ਲਾਟ ਕੋਡ ਦੀ ਲੇਜ਼ਰ ਉੱਕਰੀ
ਨੋਟ:ਉਪਰੋਕਤ ਡੇਟਾ ਸਪਲਾਈ ਕੀਤੇ ਗਏ Al₂O₃ ਪ੍ਰਾਪਰਟੀ ਟੇਬਲ ਦੀ ਸਖ਼ਤੀ ਨਾਲ ਪਾਲਣਾ ਕਰਦਾ ਹੈ। Si₃N₄ ਰਿੰਗਾਂ ਲਈ, ਪ੍ਰਦਾਨ ਕੀਤੀ ਗਈ ਵੱਖਰੀ Si₃N₄ ਡੇਟਾਸ਼ੀਟ ਵੇਖੋ।
