ਸੀਵੀਡੀ/ਪੀਵੀਡੀ ਸ਼ਾਵਰਹੈੱਡ ਲਈ ਐਲੂਮਿਨਾ ਗੈਸ ਡਿਸਟ੍ਰੀਬਿਊਸ਼ਨ ਪਲੇਟ
ਸੇਂਟ ਸੇਰਾ ਦੀ ਗੈਸ ਡਿਸਟ੍ਰੀਬਿਊਸ਼ਨ ਪਲੇਟ (ਸ਼ਾਵਰਹੈੱਡ) ਉੱਚ-ਸ਼ੁੱਧਤਾ ਵਾਲੇ 99.8% ਐਲੂਮਿਨਾ ਸਿਰੇਮਿਕ ਤੋਂ ਸ਼ੁੱਧਤਾ-ਮਸ਼ੀਨ ਕੀਤੀ ਗਈ ਹੈ। ਇਸ ਵਿੱਚ ਮਾਈਕ੍ਰੋ-ਹੋਲ (ਵਿਆਸ 0.3-1.5 ਮਿਲੀਮੀਟਰ) ਦੀ ਇੱਕ ਲੜੀ ਹੈ ਜੋ CVD, PVD, ਜਾਂ ALD ਪ੍ਰਕਿਰਿਆਵਾਂ ਦੌਰਾਨ ਵੇਫਰ ਸਤ੍ਹਾ 'ਤੇ ਇਕਸਾਰ ਗੈਸ ਪ੍ਰਵਾਹ ਨੂੰ ਯਕੀਨੀ ਬਣਾਉਂਦੀ ਹੈ। ਪਲੇਟ ਦੀ ਉੱਚ ਡਾਈਇਲੈਕਟ੍ਰਿਕ ਤਾਕਤ (>15×10⁶ V/m) ਅਤੇ ਪਲਾਜ਼ਮਾ ਪ੍ਰਤੀਰੋਧ ਇਸਨੂੰ ਸੈਮੀਕੰਡਕਟਰ ਪਤਲੀ-ਫਿਲਮ ਜਮ੍ਹਾਂ ਕਰਨ ਲਈ ਜ਼ਰੂਰੀ ਬਣਾਉਂਦੇ ਹਨ।
ਨਿਰਧਾਰਨ:
| ਜਾਇਦਾਦ | ਮੁੱਲ |
| ਸਮੱਗਰੀ | 99.8% Al₂O₃ ਜਾਂ SiC |
| ਵਿਆਸ | 100 - 1500mm (ਗੋਲ) ਜਾਂ ਆਇਤਾਕਾਰ |
| ਮੋਟਾਈ | 5 - 20 ਮਿਲੀਮੀਟਰ |
| ਮੋਰੀ ਵਿਆਸ | 0.3 - 1.5 ਮਿਲੀਮੀਟਰ |
| ਮੋਰੀ ਪੈਟਰਨ | ਕਸਟਮ (ਤਿਕੋਣੀ, ਵਰਗ, ਰੇਡੀਅਲ) |
| ਸਮਤਲਤਾ | ਪੂਰੇ ਖੇਤਰ ਉੱਤੇ ≤10 μm |
| ਸਤ੍ਹਾ ਖੁਰਦਰੀ | ਰਾ ≤0.6 μm (ਗੈਸ ਸਾਈਡ) |
| ਖੁੱਲ੍ਹਾ ਖੇਤਰ ਅਨੁਪਾਤ | 5-15% |
ਐਪਲੀਕੇਸ਼ਨ:
PECVD ਸ਼ਾਵਰਹੈੱਡ ਪਲੇਟਾਂ
ALD ਗੈਸ ਇੰਜੈਕਟਰ
ਐਚ ਚੈਂਬਰ ਗੈਸ ਵੰਡ ਪਲੇਟਾਂ
MOCVD ਰਿਐਕਟਰ ਹਿੱਸੇ
ਨਿਰਮਾਣ:
ਐਲੂਮਿਨਾ ਸਬਸਟਰੇਟ ਫਲੈਟ ਲੈਪਡ → ਹੀਰੇ-ਕੋਟੇਡ ਟੂਲਸ ਨਾਲ ਸੀਐਨਸੀ ਡ੍ਰਿਲਿੰਗ (ਮੋਰੀ ਸਥਿਤੀ ਸਹਿਣਸ਼ੀਲਤਾ ±0.02 ਮਿਲੀਮੀਟਰ) → ਡੀਬਰਿੰਗ → ਅਲਟਰਾਸੋਨਿਕ ਸਫਾਈ → ਕਲਾਸ 100 ਪੈਕੇਜਿੰਗ।
ਗੁਣਵੱਤਾ ਕੰਟਰੋਲ:
ਹਰੇਕ ਪਲੇਟ ਦਾ ਛੇਕ ਦੇ ਆਕਾਰ (ਦ੍ਰਿਸ਼ਟੀ ਪ੍ਰਣਾਲੀ), ਸਮਤਲਤਾ (ਲੇਜ਼ਰ ਇੰਟਰਫੇਰੋਮੀਟਰ), ਅਤੇ ਗੈਸ ਪ੍ਰਵਾਹ ਇਕਸਾਰਤਾ (ਪ੍ਰੈਸ਼ਰ ਮੈਪਿੰਗ) ਲਈ 100% ਨਿਰੀਖਣ ਕੀਤਾ ਜਾਂਦਾ ਹੈ। 20x ਮਾਈਕ੍ਰੋਸਕੋਪ ਦੇ ਹੇਠਾਂ ਕੋਈ ਮਾਈਕ੍ਰੋ-ਕ੍ਰੈਕ ਨਹੀਂ ਹਨ।
ਧਾਤ ਦੀਆਂ ਪਲੇਟਾਂ ਨਾਲੋਂ ਫਾਇਦੇ:
ਪਤਲੀਆਂ ਫਿਲਮਾਂ ਵਿੱਚ ਕੋਈ ਧਾਤੂ ਦੂਸ਼ਣ ਨਹੀਂ
ਘੱਟ ਕਣ ਪੈਦਾਵਾਰ (ਕੋਈ ਜੰਗਾਲ ਨਹੀਂ)
ਹਮਲਾਵਰ ਸਫਾਈ ਪਲਾਜ਼ਮਾ (CF₄, NF₃) ਦਾ ਸਾਹਮਣਾ ਕਰਦਾ ਹੈ।
ਕਸਟਮ ਵਿਸ਼ੇਸ਼ਤਾਵਾਂ:
ਬੈਕਸਾਈਡ ਗੈਸ ਚੈਨਲ, ਕਾਊਂਟਰ-ਬੋਰ ਹੋਲ, ਕਿਨਾਰੇ ਸੀਲ, ਅਤੇ ਵੱਖ-ਵੱਖ ਮਟੀਰੀਅਲ ਗ੍ਰੇਡ (ਉੱਚ ਥਰਮਲ ਚਾਲਕਤਾ ਲਈ SiC, ਪਲਾਜ਼ਮਾ ਪ੍ਰਤੀਰੋਧ ਲਈ Y₂O₃ ਕੋਟਿੰਗ)।
ਅਸੀਂ ਨਿਰਮਾਣ ਤੋਂ ਪਹਿਲਾਂ CAD ਤਸਦੀਕ ਅਤੇ ਪ੍ਰਵਾਹ ਸਿਮੂਲੇਸ਼ਨ ਪ੍ਰਦਾਨ ਕਰਦੇ ਹਾਂ।
