ਸਿਲੀਕਾਨ ਕਾਰਬਾਈਡ (SiC) ਸਿਰੇਮਿਕ ਐਂਡ ਇਫੈਕਟਰ - ਉੱਚ-ਤਾਪਮਾਨ ਵਾਲੇ ਵੇਫਰ ਹੈਂਡਲਿੰਗ ਲਈ ਉੱਚ ਕਠੋਰਤਾ
ਸੇਂਟ ਸੇਰਾ ਦਾ SiC ਸਿਰੇਮਿਕ ਐਂਡ ਇਫੈਕਟਰ ਉੱਚ-ਸ਼ੁੱਧਤਾ ਵਾਲੇ ਸਿਲੀਕਾਨ ਕਾਰਬਾਈਡ (SiC ਸਮੱਗਰੀ 99.72%, ਮੁਫ਼ਤ Si 0.05%) ਤੋਂ S1111 ਬੈਚ ਸਮੱਗਰੀ ਦੀ ਵਰਤੋਂ ਕਰਕੇ ਤਿਆਰ ਕੀਤਾ ਗਿਆ ਹੈ। ਇਹ ਬੇਮਿਸਾਲ ਮਕੈਨੀਕਲ ਵਿਸ਼ੇਸ਼ਤਾਵਾਂ ਦੀ ਪੇਸ਼ਕਸ਼ ਕਰਦਾ ਹੈ: ਲਚਕਦਾਰ ਤਾਕਤ 449 MPa (ਮਾਪਿਆ ਗਿਆ), ਲਚਕੀਲਾ ਮਾਡਿਊਲਸ 457 GPa (ਮਾਪਿਆ ਗਿਆ), ਅਤੇ ਵਿਕਰਸ ਕਠੋਰਤਾ 25–28 GPa (ਆਮ)। ਘੱਟ ਘਣਤਾ (3.10–3.15 g/cm³, ਆਮ) ਇੱਕ ਉੱਚ ਖਾਸ ਕਠੋਰਤਾ ਪ੍ਰਦਾਨ ਕਰਦੀ ਹੈ, ਜੋ ਹਾਈ-ਸਪੀਡ ਵੇਫਰ ਟ੍ਰਾਂਸਫਰ ਰੋਬੋਟਾਂ ਲਈ ਆਦਰਸ਼ ਹੈ। 120–150 W/m·K (ਆਮ) ਦੀ ਥਰਮਲ ਚਾਲਕਤਾ ਅਤੇ 4.0–4.5×10⁻⁶/℃ (ਆਮ) ਦੇ ਥਰਮਲ ਵਿਸਥਾਰ ਗੁਣਾਂਕ ਦੇ ਨਾਲ, ਇਹ ਐਂਡ ਇਫੈਕਟਰ ਪ੍ਰਭਾਵਸ਼ਾਲੀ ਢੰਗ ਨਾਲ ਗਰਮੀ ਨੂੰ ਖਤਮ ਕਰਦਾ ਹੈ ਅਤੇ ਉੱਚ-ਤਾਪਮਾਨ ਹੈਂਡਲਿੰਗ ਦੌਰਾਨ ਅਯਾਮੀ ਸਥਿਰਤਾ ਬਣਾਈ ਰੱਖਦਾ ਹੈ (1600–1700°C ਤੱਕ, ਕੋਈ ਲੋਡ ਨਹੀਂ)। ਕਾਲਾ/ਸਲੇਟੀ ਰੰਗ ਅਤੇ ਜ਼ੀਰੋ ਪਾਣੀ ਸੋਖਣ ਕਲੀਨਰੂਮ ਅਨੁਕੂਲਤਾ ਨੂੰ ਯਕੀਨੀ ਬਣਾਉਂਦਾ ਹੈ।
ਨਿਰਧਾਰਨ(ਸਪਲਾਈ ਕੀਤੀ ਗਈ SiC S1111 ਟੈਸਟ ਰਿਪੋਰਟ ਅਤੇ ਆਮ ਮੁੱਲਾਂ ਦੇ ਆਧਾਰ 'ਤੇ)):
| ਜਾਇਦਾਦ | ਮੁੱਲ |
| ਸਮੱਗਰੀ | SiC (99.72% SiC, 0.05% ਮੁਫ਼ਤ Si) |
| ਰੰਗ | ਕਾਲਾ/ਸਲੇਟੀ |
| ਘਣਤਾ | 3.10–3.15 ਗ੍ਰਾਮ/ਸੈ.ਮੀ.³ |
| ਪਾਣੀ ਸੋਖਣਾ | 0% |
| ਲਚਕਦਾਰ ਤਾਕਤ | 449 MPa (ਔਸਤ) |
| ਫ੍ਰੈਕਚਰ ਦੀ ਮਜ਼ਬੂਤੀ | 3.12 MPa·m¹/² (ਔਸਤ) |
| ਲਚਕੀਲਾ ਮਾਡਿਊਲਸ | 457 ਜੀਪੀਏ |
| ਵਿਕਰਸ ਕਠੋਰਤਾ | 25–28 ਜੀਪੀਏ |
| ਥਰਮਲ ਚਾਲਕਤਾ (25°C) | 120–150 ਵਾਟ/ਮੀਟਰ·ਕੇ |
| ਸੀਟੀਈ (25–1000°C) | 4.0–4.5×10⁻⁶/℃ |
| ਵੱਧ ਤੋਂ ਵੱਧ ਵਰਤੋਂ ਦਾ ਤਾਪਮਾਨ (ਲੋਡ ਤੋਂ ਬਿਨਾਂ) | 1600–1700°C |
ਐਪਲੀਕੇਸ਼ਨ:
● ਉੱਚ-ਤਾਪਮਾਨ ਵਾਲਾ ਵੇਫਰ ਹੈਂਡਲਿੰਗ (ਪੋਸਟ-ਐਨੀਅਲ, RTP, ਐਪੀਟੈਕਸੀ)
● ਪਲਾਜ਼ਮਾ ਐਚ ਚੈਂਬਰ ਜਿਨ੍ਹਾਂ ਨੂੰ ਉੱਚ ਕਟੌਤੀ ਪ੍ਰਤੀਰੋਧ ਦੀ ਲੋੜ ਹੁੰਦੀ ਹੈ।
● ਹਾਈ-ਸਪੀਡ ਟ੍ਰਾਂਸਫਰ ਰੋਬੋਟ (ਹਲਕਾ, ਉੱਚ ਕਠੋਰਤਾ)
ਨਿਰਮਾਣ:
SiC ਪਾਊਡਰ ਸਿੰਟਰਿੰਗ → ਆਰਮ ਪ੍ਰੋਫਾਈਲ ਅਤੇ ਮਾਊਂਟਿੰਗ ਵਿਸ਼ੇਸ਼ਤਾਵਾਂ ਦੀ ਸ਼ੁੱਧਤਾ CNC ਪੀਸਣਾ → ਸਤਹ ਲੈਪਿੰਗ → ਅਲਟਰਾਸੋਨਿਕ ਸਫਾਈ। ਵੈਕਿਊਮ ਐਪਲੀਕੇਸ਼ਨਾਂ ਲਈ 100% ਅਯਾਮੀ ਨਿਰੀਖਣ ਅਤੇ ਹੀਲੀਅਮ ਲੀਕ ਟੈਸਟ।
ਗੁਣਵੱਤਾ ਕੰਟਰੋਲ:
● ਲੰਬਾਈ, ਚੌੜਾਈ ਅਤੇ ਸਮਤਲਤਾ ਦਾ CMM ਨਿਰੀਖਣ
● ਪ੍ਰਤੀ ਬੈਚ ਲਚਕੀਲਾ ਤਾਕਤ ਟੈਸਟ (ਪ੍ਰਤੀ ਟੈਸਟ ਰਿਪੋਰਟ ਸਟੈਂਡਰਡ)
● ਸਤ੍ਹਾ ਦੇ ਨੁਕਸਾਂ ਲਈ ਮਾਈਕ੍ਰੋਸਕੋਪ ਦੇ ਹੇਠਾਂ ਵਿਜ਼ੂਅਲ ਨਿਰੀਖਣ।
ਐਲੂਮਿਨਾ ਜਾਂ ਧਾਤ ਨਾਲੋਂ ਫਾਇਦੇ:
● 2× ਉੱਚ ਲਚਕੀਲਾ ਮਾਡਿਊਲਸ (ਐਲੂਮਿਨਾ ਲਈ 457 ਬਨਾਮ ~380 GPa) - ਘੱਟ ਡਿਫਲੈਕਸ਼ਨ
● 3× ਵੱਧ ਥਰਮਲ ਚਾਲਕਤਾ - ਤੇਜ਼ ਗਰਮੀ ਦਾ ਨਿਪਟਾਰਾ
● ਹਵਾ ਵਿੱਚ ਐਲੂਮੀਨਾ ਦੇ 800°C ਦੇ ਮੁਕਾਬਲੇ >1600°C ਦਾ ਸਾਹਮਣਾ ਕਰਦਾ ਹੈ।
● ਸਟੀਲ ਨਾਲੋਂ ਘੱਟ ਘਣਤਾ - 40% ਭਾਰ ਘਟਾਉਣਾ
ਕਸਟਮਾਈਜ਼ੇਸ਼ਨ:
ਲੰਬਾਈ 150–450 ਮਿਲੀਮੀਟਰ, ਸਿਰੇ ਦੇ ਆਕਾਰ (ਕਿਨਾਰੇ ਦੀ ਪਕੜ, ਬਰਨੌਲੀ, ਫਲੈਟ), ਪ੍ਰਤੀ OEM ਡਰਾਇੰਗ ਮਾਊਂਟਿੰਗ ਫਲੈਂਜ ਪੈਟਰਨ।
*ਉਪਰੋਕਤ ਸਾਰਾ ਮਕੈਨੀਕਲ ਡੇਟਾ ਸਪਲਾਈ ਕੀਤੀ ਗਈ ਟੈਸਟ ਰਿਪੋਰਟ (ਬੈਚ S1111) ਤੋਂ ਆਉਂਦਾ ਹੈ। ਇਸ SiC ਗ੍ਰੇਡ ਲਈ ਥਰਮਲ ਅਤੇ ਕਠੋਰਤਾ ਮੁੱਲ ਆਮ ਹਨ; ਕਿਰਪਾ ਕਰਕੇ ਲਾਟ-ਵਿਸ਼ੇਸ਼ ਪ੍ਰਮਾਣੀਕਰਣ ਲਈ ਸਾਡੇ ਨਾਲ ਸੰਪਰਕ ਕਰੋ।*
