ਉੱਚ-ਤਾਪਮਾਨ ਅਤੇ ਪਲਾਜ਼ਮਾ ਵਾਤਾਵਰਣ ਲਈ ਸਿਲੀਕਾਨ ਕਾਰਬਾਈਡ (SiC) ਅਧਾਰਤ ਵੈਕਿਊਮ ਚੱਕ
ਸੇਂਟ ਸੇਰਾ ਦਾ SiC-ਅਧਾਰਤ ਸਿਰੇਮਿਕ ਚੱਕ ਉੱਚ-ਸ਼ੁੱਧਤਾ ਵਾਲੇ ਸਿਲੀਕਾਨ ਕਾਰਬਾਈਡ (ਬੈਚ S1111, SiC 99.72%, ਮੁਫ਼ਤ Si 0.05%) ਤੋਂ ਬਣਾਇਆ ਗਿਆ ਹੈ। ਇਹ 449 MPa ਦੀ ਮਾਪੀ ਗਈ ਲਚਕਦਾਰ ਤਾਕਤ, 3.12 MPa·m¹/² ਦੀ ਫ੍ਰੈਕਚਰ ਕਠੋਰਤਾ, ਅਤੇ 457 GPa ਦਾ ਲਚਕੀਲਾ ਮਾਡਿਊਲਸ ਪ੍ਰਦਾਨ ਕਰਦਾ ਹੈ। ਸਮੱਗਰੀ ਦੀ ਆਮ ਥਰਮਲ ਚਾਲਕਤਾ (120–150 W/m·K) ਅਤੇ ਘੱਟ ਥਰਮਲ ਵਿਸਥਾਰ (4.0–4.5×10⁻⁶/℃) ਥਰਮਲ ਸਾਈਕਲਿੰਗ ਦੌਰਾਨ ਤੇਜ਼ ਤਾਪਮਾਨ ਰੈਂਪਿੰਗ ਅਤੇ ਘੱਟੋ-ਘੱਟ ਵੇਫਰ ਵਾਰਪੇਜ ਨੂੰ ਸਮਰੱਥ ਬਣਾਉਂਦੀ ਹੈ। ਚੱਕ ਨੂੰ ਇੱਕ ਪੋਰਸ ਵੈਕਿਊਮ ਚੱਕ (ਇਕਸਾਰ ਗੈਸ ਪ੍ਰਵਾਹ) ਜਾਂ ਇੱਕ ਗਰੂਵਡ ਸਟੈਂਡਰਡ ਚੱਕ ਦੇ ਰੂਪ ਵਿੱਚ ਸੰਰਚਿਤ ਕੀਤਾ ਜਾ ਸਕਦਾ ਹੈ। 1600–1700°C (ਕੋਈ ਲੋਡ ਨਹੀਂ) ਦੇ ਵੱਧ ਤੋਂ ਵੱਧ ਵਰਤੋਂ ਤਾਪਮਾਨ ਅਤੇ ਅਸਧਾਰਨ ਪਲਾਜ਼ਮਾ ਇਰੋਸ਼ਨ ਪ੍ਰਤੀਰੋਧ ਦੇ ਨਾਲ, ਇਹ ਚੱਕ ਉੱਚ-ਤਾਪਮਾਨ ਵੇਫਰ ਪ੍ਰੋਸੈਸਿੰਗ (ਐਨੀਲਿੰਗ, RTP) ਅਤੇ ਹਮਲਾਵਰ ਐਚ ਚੈਂਬਰਾਂ ਲਈ ਆਦਰਸ਼ ਹੈ ਜਿੱਥੇ ਐਲੂਮਿਨਾ ਚੱਕ ਘਟਦੇ ਹਨ।
ਨਿਰਧਾਰਨ(ਸਪਲਾਈ ਕੀਤੀ ਗਈ SiC S1111 ਟੈਸਟ ਰਿਪੋਰਟ ਅਤੇ ਆਮ ਮੁੱਲਾਂ ਦੇ ਆਧਾਰ 'ਤੇ)):
| ਜਾਇਦਾਦ | ਮੁੱਲ |
| ਸਮੱਗਰੀ | SiC (99.72% SiC, 0.05% ਮੁਫ਼ਤ Si) |
| ਘਣਤਾ | 3.10–3.15 ਗ੍ਰਾਮ/ਸੈ.ਮੀ.³ |
| ਪਾਣੀ ਸੋਖਣਾ | 0% |
| ਲਚਕਦਾਰ ਤਾਕਤ | 449 ਐਮਪੀਏ |
| ਫ੍ਰੈਕਚਰ ਦੀ ਮਜ਼ਬੂਤੀ | 3.12 MPa·m¹/² |
| ਲਚਕੀਲਾ ਮਾਡਿਊਲਸ | 457 ਜੀਪੀਏ |
| ਵਿਕਰਸ ਕਠੋਰਤਾ | 25–28 ਜੀਪੀਏ |
| ਥਰਮਲ ਚਾਲਕਤਾ | 120–150 ਵਾਟ/ਮੀਟਰ·ਕੇ |
| ਸੀਟੀਈ (25–1000°C) | 4.0–4.5×10⁻⁶/℃ |
| ਵੱਧ ਤੋਂ ਵੱਧ ਵਰਤੋਂ ਦਾ ਤਾਪਮਾਨ (ਲੋਡ ਤੋਂ ਬਿਨਾਂ) | 1600–1700°C |
| ਸਮਤਲਤਾ (300mm ਤੋਂ ਵੱਧ) | ≤5 μm |
| ਸਤ੍ਹਾ ਫਿਨਿਸ਼ | ਰਾ ≤0.4 μm (ਲੈਪਡ) |
ਐਪਲੀਕੇਸ਼ਨ:
● ਉੱਚ-ਤਾਪਮਾਨ ਚੱਕਿੰਗ (ਐਨੀਲਿੰਗ, RTP, ਐਪੀਟੈਕਸੀਅਲ ਵਾਧਾ)
● ਉੱਚ ਫਲੋਰਾਈਨ ਰੋਧਕਤਾ ਵਾਲਾ ਪਲਾਜ਼ਮਾ ਐਚ ਚੱਕ।
● ਪਤਲੀ ਵੇਫਰ ਹੈਂਡਲਿੰਗ, ਇਕਸਾਰ ਹੀਟਿੰਗ/ਕੂਲਿੰਗ ਦੇ ਨਾਲ।
● ਗੈਰ-ਸੰਪਰਕ ਵੇਫਰ ਸਹਾਇਤਾ ਲਈ ਪੋਰਸ ਚੱਕ
ਨਿਰਮਾਣ:
SiC ਸਿੰਟਰਿੰਗ → ਸਮਤਲਤਾ ਅਤੇ ਸਤਹ ਪ੍ਰੋਫਾਈਲ ਦੀ ਸ਼ੁੱਧਤਾ ਪੀਸਣਾ → ਵਿਕਲਪਿਕ ਪੋਰਸ ਬਣਤਰ ਗਠਨ (ਵੈਕਿਊਮ ਚੱਕ ਲਈ) → ਲੈਪਿੰਗ → ਅਲਟਰਾਸੋਨਿਕ ਸਫਾਈ। ਹਰੇਕ ਚੱਕ ਦੀ ਸਮਤਲਤਾ (ਲੇਜ਼ਰ ਇੰਟਰਫੇਰੋਮੀਟਰ) ਅਤੇ ਵੈਕਿਊਮ ਇਕਸਾਰਤਾ (ਪ੍ਰਵਾਹ ਟੈਸਟ) ਲਈ 100% ਜਾਂਚ ਕੀਤੀ ਜਾਂਦੀ ਹੈ।
ਗੁਣਵੱਤਾ ਕੰਟਰੋਲ:
● CMM ਆਯਾਮੀ ਜਾਂਚ (ਵਿਆਸ, ਮੋਟਾਈ, ਮੋਰੀ ਸਥਿਤੀਆਂ)
● ਪ੍ਰਤੀ ASTM ਸਮਤਲਤਾ ਮਾਪ
● ਹੀਲੀਅਮ ਲੀਕ ਟੈਸਟ (ਵੈਕਿਊਮ ਚੱਕਾਂ ਲਈ)
● ਪ੍ਰਤੀ ਬੈਚ ਲਚਕੀਲਾ ਤਾਕਤ ਤਸਦੀਕ (ਰੈਫ. ਟੈਸਟ ਰਿਪੋਰਟ)
ਐਲੂਮਿਨਾ ਚੱਕਸ ਦੇ ਫਾਇਦੇ:
● ਉੱਚ ਥਰਮਲ ਚਾਲਕਤਾ (ਐਲੂਮੀਨਾ ਲਈ 120–150 ਬਨਾਮ 32 W/m·K) – 4× ਤੇਜ਼ ਤਾਪ ਸੰਚਾਰ
● ਘੱਟ CTE (4.0 ਬਨਾਮ 7.2×10⁻⁶/℃) – ਵੇਫਰ ਥਰਮਲ ਤਣਾਅ ਨੂੰ ਘਟਾਉਂਦਾ ਹੈ।
● ਸੁਪੀਰੀਅਰ ਪਲਾਜ਼ਮਾ ਰੋਧਕ - ਫਲੋਰਾਈਨ ਐਚ ਵਿੱਚ 10× ਲੰਬਾ ਜੀਵਨ ਕਾਲ
● ਵੱਧ ਤੋਂ ਵੱਧ ਵਰਤੋਂ ਦਾ ਤਾਪਮਾਨ (ਐਲੂਮੀਨਾ ਲਈ 1600°C ਬਨਾਮ 800°C)
ਕਸਟਮਾਈਜ਼ੇਸ਼ਨ:
● ਛਿੱਲੀ ਜਾਂ ਖੰਭੇ ਵਾਲੀ ਸਤ੍ਹਾ
● ਵਿਆਸ 100–450 ਮਿਲੀਮੀਟਰ, ਗੋਲ ਜਾਂ ਵਰਗਾਕਾਰ
● ਕਿਨਾਰੇ ਦੀ ਸੀਲਿੰਗ ਰਿੰਗ ਜਾਂ ਜ਼ੋਨ ਵੈਕਿਊਮ ਭਾਗ
● ਉੱਚ-ਕਠੋਰਤਾ ਵਾਲੇ ਮਾਊਂਟਿੰਗ ਲਈ ਧਾਤੂ ਬੈਕਿੰਗ ਵਿਕਲਪ
ਉੱਪਰ ਦਿੱਤਾ ਸਾਰਾ ਮਕੈਨੀਕਲ ਡੇਟਾ ਸਪਲਾਈ ਕੀਤੀ ਗਈ ਟੈਸਟ ਰਿਪੋਰਟ (ਬੈਚ S1111) ਤੋਂ ਆਉਂਦਾ ਹੈ। ਇਸ SiC ਗ੍ਰੇਡ ਲਈ ਥਰਮਲ ਅਤੇ ਕਠੋਰਤਾ ਮੁੱਲ ਆਮ ਹਨ। ਪੋਰਸ SiC ਚੱਕਾਂ ਨੂੰ ਵਾਧੂ ਪ੍ਰੋਸੈਸਿੰਗ ਦੀ ਲੋੜ ਹੁੰਦੀ ਹੈ; ਕਿਰਪਾ ਕਰਕੇ ਖਾਸ ਪੋਰੋਸਿਟੀ ਅਤੇ ਪੋਰ ਆਕਾਰ ਦੀ ਉਪਲਬਧਤਾ ਲਈ ਪੁੱਛਗਿੱਛ ਕਰੋ।
