300mm ਵੇਫਰ ਪ੍ਰੋਸੈਸਿੰਗ ਲਈ 12-ਇੰਚ ਐਲੂਮਿਨਾ ਵੈਕਿਊਮ ਚੱਕ
ਸੇਂਟ ਸੇਰਾ ਦਾ 12-ਇੰਚ ਵੈਕਿਊਮ ਚੱਕ 300mm ਵੇਫਰ ਹੈਂਡਲਿੰਗ ਲਈ 99.8% ਉੱਚ-ਸ਼ੁੱਧਤਾ ਵਾਲੇ ਐਲੂਮਿਨਾ (Al₂O₃) ਤੋਂ ਸ਼ੁੱਧਤਾ-ਇੰਜੀਨੀਅਰ ਕੀਤਾ ਗਿਆ ਹੈ। ਚੱਕ ਵਿੱਚ ਇੱਕ ਬਰੀਕ-ਗਰੂਵ ਸਤਹ (ਗਰੂਵ ਚੌੜਾਈ 0.5–1.0 ਮਿਲੀਮੀਟਰ, ਪਿੱਚ 2–3 ਮਿਲੀਮੀਟਰ) ਹੈ ਤਾਂ ਜੋ ਪੂਰੇ 300mm ਵਿਆਸ ਵਿੱਚ ਇੱਕਸਾਰ ਵੈਕਿਊਮ ਵੰਡ ਨੂੰ ਯਕੀਨੀ ਬਣਾਇਆ ਜਾ ਸਕੇ। ਸਮਤਲਤਾ 5 μm ਦੇ ਅੰਦਰ ਬਣਾਈ ਰੱਖੀ ਜਾਂਦੀ ਹੈ, ਜਿਸ ਨਾਲ ਡਾਈਸਿੰਗ, ਬੈਕਸਾਈਡ ਪੀਸਣ ਅਤੇ ਨਿਰੀਖਣ ਦੌਰਾਨ ਵਾਰਪ-ਮੁਕਤ ਵੇਫਰ ਫਿਕਸੇਸ਼ਨ ਸੰਭਵ ਹੋ ਜਾਂਦੀ ਹੈ। ਸਮੱਗਰੀ ਦੀ ਉੱਚ ਲਚਕਦਾਰ ਤਾਕਤ (361 MPa) ਅਤੇ ਕਠੋਰਤਾ (16 GPa) ਵਾਰ-ਵਾਰ ਵੈਕਿਊਮ ਚੱਕਰਾਂ ਦੇ ਅਧੀਨ ਵੀ ਲੰਬੇ ਸਮੇਂ ਦੀ ਅਯਾਮੀ ਸਥਿਰਤਾ ਦੀ ਗਰੰਟੀ ਦਿੰਦੀ ਹੈ।
ਨਿਰਧਾਰਨ (99.8% Al₂O₃ 'ਤੇ ਆਧਾਰਿਤ):
| ਜਾਇਦਾਦ | ਮੁੱਲ |
| ਵਿਆਸ | 300 ਮਿਲੀਮੀਟਰ (12 ਇੰਚ) |
| ਸਮੱਗਰੀ | 99.8% ਐਲੂਮਿਨਾ (ਹਾਥੀ ਦੰਦ) |
| ਘਣਤਾ | 3.93 ਗ੍ਰਾਮ/ਸੈ.ਮੀ.³ |
| ਲਚਕਦਾਰ ਤਾਕਤ | 361 ਐਮਪੀਏ |
| ਵਿਕਰਸ ਕਠੋਰਤਾ | 16 ਜੀਪੀਏ |
| ਸਮਤਲਤਾ (300mm ਤੋਂ ਵੱਧ) | ≤5 μm |
| ਨਾਲੀ ਦੀ ਚੌੜਾਈ | 0.5–1.0 ਮਿਲੀਮੀਟਰ |
| ਵੱਧ ਤੋਂ ਵੱਧ ਓਪਰੇਟਿੰਗ ਤਾਪਮਾਨ | 800°C |
| ਡਾਈਇਲੈਕਟ੍ਰਿਕ ਤਾਕਤ | 15×10⁶ ਵੋਲ/ਮੀਟਰ |
ਐਪਲੀਕੇਸ਼ਨ:
300mm ਵੇਫਰ ਡਾਈਸਿੰਗ ਅਤੇ ਸਕ੍ਰਾਈਬਿੰਗ
ਵੇਫਰ ਦੇ ਪਿਛਲੇ ਪਾਸੇ ਪੀਸਣਾ (ਪਤਲਾ ਵੇਫਰ ਸਪੋਰਟ)
ਆਪਟੀਕਲ ਨਿਰੀਖਣ ਅਤੇ ਜਾਂਚ
ਅਸਥਾਈ ਬੰਧਨ/ਡੀਬੌਂਡਿੰਗ ਚੱਕ
ਨਿਰਮਾਣ:
ਸੀਐਨਸੀ ਨੂੰ ਜ਼ਮੀਨ 'ਤੇ ਰੱਖਿਆ ਗਿਆ ਹੈ ਅਤੇ ਅੰਤਮ ਸਮਤਲਤਾ ਤੱਕ ਲੈਪ ਕੀਤਾ ਗਿਆ ਹੈ, ਹੀਰੇ ਦੇ ਪਹੀਆਂ ਨਾਲ ਗਰੂਵ ਕੀਤਾ ਗਿਆ ਹੈ, ਅਲਟਰਾਸੋਨਿਕ ਤੌਰ 'ਤੇ ਸਾਫ਼ ਕੀਤਾ ਗਿਆ ਹੈ, ਅਤੇ ਕਲਾਸ 100 ਕਲੀਨਰੂਮ ਵਿੱਚ ਪੈਕ ਕੀਤਾ ਗਿਆ ਹੈ। ਹਰੇਕ ਚੱਕ ਦੀ ਸਮਤਲਤਾ (ਲੇਜ਼ਰ ਇੰਟਰਫੇਰੋਮੀਟਰ) ਅਤੇ ਗਰੂਵ ਡੂੰਘਾਈ (ਪ੍ਰੋਫਾਈਲੋਮੀਟਰ) ਲਈ 100% ਜਾਂਚ ਕੀਤੀ ਜਾਂਦੀ ਹੈ।
ਫਾਇਦੇ:
ਘੱਟ ਕਣ ਪੈਦਾਵਾਰ (≤0.05 ਕਣ/ਸੈ.ਮੀ.²)
ਘੋਲਕ ਅਤੇ ਐਸਿਡ ਲਈ ਰਸਾਇਣਕ ਤੌਰ 'ਤੇ ਅਯੋਗ
ESD-ਸੁਰੱਖਿਅਤ ਸਤ੍ਹਾ (ਰੋਧਕਤਾ >10¹³ Ω·cm)
ਕਸਟਮ ਵੈਕਿਊਮ ਹੋਲ ਪੈਟਰਨ ਅਤੇ ਬੈਕਸਾਈਡ ਪੋਰਟ ਉਪਲਬਧ ਹਨ।
