ਪੇਜ_ਬੈਨਰ

ਪਤਲੇ ਵੇਫਰ ਹੈਂਡਲਿੰਗ ਲਈ ਐਲੂਮਿਨਾ-ਅਧਾਰਤ ਪੋਰਸ ਸਿਰੇਮਿਕ ਵੈਕਿਊਮ ਚੱਕ

ਪਤਲੇ ਵੇਫਰ ਹੈਂਡਲਿੰਗ ਲਈ ਐਲੂਮਿਨਾ-ਅਧਾਰਤ ਪੋਰਸ ਸਿਰੇਮਿਕ ਵੈਕਿਊਮ ਚੱਕ

ਛੋਟਾ ਵਰਣਨ:

ਸੇਂਟ ਸੇਰਾ ਦਾ ਐਲੂਮਿਨਾ-ਅਧਾਰਤ ਪੋਰਸ ਚੱਕ 99.6% ਉੱਚ-ਸ਼ੁੱਧਤਾ ਵਾਲੇ Al₂O₃ ਤੋਂ ਬਣਾਇਆ ਗਿਆ ਹੈ ਜਿਸਦੀ ਨਿਯੰਤਰਿਤ ਓਪਨ ਪੋਰੋਸਿਟੀ 30-45% ਹੈ ਅਤੇ ਇੱਕਸਾਰ ਪੋਰ ਦਾ ਆਕਾਰ 10 ਤੋਂ 50 μm ਤੱਕ ਹੈ। ਗਰੂਵਡ ਚੱਕਾਂ ਦੇ ਉਲਟ, ਪੋਰਸ ਸਤਹ ਪੂਰੇ ਵੇਫਰ ਦੇ ਪਿਛਲੇ ਪਾਸੇ ਵੰਡਿਆ ਵੈਕਿਊਮ ਪ੍ਰਦਾਨ ਕਰਦੀ ਹੈ, ਕਿਨਾਰੇ ਦੀ ਨਿਸ਼ਾਨਦੇਹੀ ਨੂੰ ਖਤਮ ਕਰਦੀ ਹੈ ਅਤੇ ਅਤਿ-ਪਤਲੇ (≤100 μm) ਜਾਂ ਵਾਰਪਡ ਵੇਫਰਾਂ ਦੀ ਕੋਮਲ ਹੋਲਡਿੰਗ ਨੂੰ ਸਮਰੱਥ ਬਣਾਉਂਦੀ ਹੈ। ਇਹ ਸਮੱਗਰੀ ≥250 MPa ਦੀ ਲਚਕਦਾਰ ਤਾਕਤ ਅਤੇ ਹਵਾ ਵਿੱਚ 400°C ਤੱਕ ਥਰਮਲ ਸਥਿਰਤਾ ਪ੍ਰਦਾਨ ਕਰਦੀ ਹੈ।


ਉਤਪਾਦ ਵੇਰਵਾ

ਉਤਪਾਦ ਟੈਗ

ਸੇਂਟ ਸੇਰਾ ਦਾ ਐਲੂਮਿਨਾ-ਅਧਾਰਤ ਪੋਰਸ ਚੱਕ 99.6% ਉੱਚ-ਸ਼ੁੱਧਤਾ ਵਾਲੇ Al₂O₃ ਤੋਂ ਬਣਾਇਆ ਗਿਆ ਹੈ ਜਿਸਦੀ ਨਿਯੰਤਰਿਤ ਓਪਨ ਪੋਰੋਸਿਟੀ 30-45% ਹੈ ਅਤੇ ਇੱਕਸਾਰ ਪੋਰ ਦਾ ਆਕਾਰ 10 ਤੋਂ 50 μm ਤੱਕ ਹੈ। ਗਰੂਵਡ ਚੱਕਾਂ ਦੇ ਉਲਟ, ਪੋਰਸ ਸਤਹ ਪੂਰੇ ਵੇਫਰ ਦੇ ਪਿਛਲੇ ਪਾਸੇ ਵੰਡਿਆ ਵੈਕਿਊਮ ਪ੍ਰਦਾਨ ਕਰਦੀ ਹੈ, ਕਿਨਾਰੇ ਦੀ ਨਿਸ਼ਾਨਦੇਹੀ ਨੂੰ ਖਤਮ ਕਰਦੀ ਹੈ ਅਤੇ ਅਤਿ-ਪਤਲੇ (≤100 μm) ਜਾਂ ਵਾਰਪਡ ਵੇਫਰਾਂ ਦੀ ਕੋਮਲ ਹੋਲਡਿੰਗ ਨੂੰ ਸਮਰੱਥ ਬਣਾਉਂਦੀ ਹੈ। ਇਹ ਸਮੱਗਰੀ ≥250 MPa ਦੀ ਲਚਕਦਾਰ ਤਾਕਤ ਅਤੇ ਹਵਾ ਵਿੱਚ 400°C ਤੱਕ ਥਰਮਲ ਸਥਿਰਤਾ ਪ੍ਰਦਾਨ ਕਰਦੀ ਹੈ।

 

ਨਿਰਧਾਰਨ(99.6% Al 'ਤੇ ਆਧਾਰਿਤ)O):

ਜਾਇਦਾਦ ਮੁੱਲ
ਸਮੱਗਰੀ 99.6% ਐਲੂਮਿਨਾ (ਚਿੱਟਾ)
ਪੋਰੋਸਿਟੀ 30–45% (ਐਡਜਸਟੇਬਲ)
ਔਸਤ ਪੋਰ ਆਕਾਰ 10–50 ਮਾਈਕ੍ਰੋਮ
ਲਚਕਦਾਰ ਤਾਕਤ ≥250 ਐਮਪੀਏ
ਘਣਤਾ 3.88 ਗ੍ਰਾਮ/ਸੈ.ਮੀ.³
ਸਮਤਲਤਾ (200mm ਤੋਂ ਵੱਧ) ≤5 μm
ਵੱਧ ਤੋਂ ਵੱਧ ਓਪਰੇਟਿੰਗ ਤਾਪਮਾਨ 400°C (ਹਵਾ)
ਸਤ੍ਹਾ ਫਿਨਿਸ਼ ਲੈਪਡ (Ra ≤0.8 μm)

 

ਐਪਲੀਕੇਸ਼ਨ:

  • · ਪਤਲਾ ਵੇਫਰ (≤50 μm) ਪਿਛਲੇ ਪਾਸੇ ਪੀਸਣਾ
  • · ਡਾਈਸਿੰਗ ਲਈ ਵਾਰਪਡ ਵੇਫਰ ਮਾਊਂਟਿੰਗ
  • · ਸਿੰਗਲ ਡਾਈ ਪਿਕ-ਅੱਪ
  • · ਕੱਚ ਦੇ ਸਬਸਟ੍ਰੇਟ ਦੀ ਸੰਭਾਲ

 

ਨਿਰਮਾਣ:

ਪੋਰ ਫਾਰਮਰਜ਼ → ਆਈਸੋਸਟੈਟਿਕ ਪ੍ਰੈਸਿੰਗ → 1600°C 'ਤੇ ਸਿੰਟਰਿੰਗ → ਅੰਤਿਮ ਮੋਟਾਈ ਤੱਕ ਲੈਪਿੰਗ ਦੇ ਨਾਲ ਮਿਲਾਇਆ ਗਿਆ ਪਾਊਡਰ। ਹਰੇਕ ਚੱਕ ਨੂੰ ਵੈਕਿਊਮ ਇਕਸਾਰਤਾ (ਪ੍ਰੈਸ਼ਰ ਡਿਵੀਏਸ਼ਨ <5%) ਲਈ ਪ੍ਰਵਾਹ-ਜਾਂਚ ਕੀਤਾ ਜਾਂਦਾ ਹੈ ਅਤੇ ਪੋਰ ਸਾਈਜ਼ ਡਿਸਟ੍ਰੀਬਿਊਸ਼ਨ (SEM) ਲਈ ਜਾਂਚਿਆ ਜਾਂਦਾ ਹੈ।

 

ਰਵਾਇਤੀ ਚੱਕਾਂ ਦੇ ਮੁਕਾਬਲੇ ਫਾਇਦੇ:

  • · ਕੋਈ ਵੇਫਰ ਬੈਕਸਾਈਡ ਮਾਰਕਿੰਗ ਜਾਂ ਡਾਈ ਸ਼ਿਫਟ ਨਹੀਂ
  • · 500 μm ਤੱਕ ਬੋਅ ਵਾਲੇ ਵੇਫਰਾਂ ਨੂੰ ਫੜਦਾ ਹੈ
  • · ਸਵੈ-ਸਫਾਈ ਵਾਲੀ ਸਤ੍ਹਾ (ਛਿਦਰਾਂ ਬੰਦ ਹੋਣ ਦਾ ਵਿਰੋਧ ਕਰਦੀਆਂ ਹਨ)
  • · ਇਕਸਾਰ ਸਹਾਇਤਾ ਸਥਾਨਕ ਤਣਾਅ ਨੂੰ ਖਤਮ ਕਰਦੀ ਹੈ

 

Cਅਨੁਕੂਲਤਾ:

ਗੋਲ ਜਾਂ ਵਰਗਾਕਾਰ ਆਕਾਰ, ਵਿਆਸ 100–450 ਮਿਲੀਮੀਟਰ। ਜ਼ੋਨਡ ਵੈਕਿਊਮ ਕੰਟਰੋਲ ਲਈ ਕਿਨਾਰੇ ਦੀ ਸੀਲਿੰਗ ਰਿੰਗ ਉਪਲਬਧ ਹੈ।

 

ਆਪਣੇ ਖਾਸ ਵੇਫਰ ਆਕਾਰ ਲਈ ਇੱਕ ਨਮੂਨਾ ਮੰਗੋ।


  • ਪਿਛਲਾ:
  • ਅਗਲਾ: