ਬਰਨੌਲੀ ਸਿਰੇਮਿਕ ਐਂਡ ਇਫੈਕਟਰ — ਪਤਲੇ ਅਤੇ ਨਾਜ਼ੁਕ ਵੇਫਰਾਂ ਲਈ ਗੈਰ-ਸੰਪਰਕ ਵੇਫਰ ਹੈਂਡਲਿੰਗ

ਸੇਂਟ ਸੇਰਾ ਦਾ ਬਰਨੌਲੀ ਸਿਰੇਮਿਕ ਐਂਡ ਇਫੈਕਟਰ ਬਿਨਾਂ ਕਿਸੇ ਭੌਤਿਕ ਸੰਪਰਕ ਦੇ ਵੇਫਰਾਂ ਨੂੰ ਸੰਭਾਲਣ ਲਈ ਐਰੋਡਾਇਨਾਮਿਕ ਲਿਫਟ ਦੀ ਵਰਤੋਂ ਕਰਦਾ ਹੈ। ਉੱਚ-ਸ਼ੁੱਧਤਾ ਵਾਲੇ 99.8% ਐਲੂਮਿਨਾ (Al₂O₃) ਜਾਂ ਸਿਲੀਕਾਨ ਕਾਰਬਾਈਡ (SiC) ਤੋਂ ਨਿਰਮਿਤ, ਇਸ ਵਿੱਚ ਸ਼ੁੱਧਤਾ-ਮਸ਼ੀਨ ਵਾਲੇ ਨੋਜ਼ਲ ਹਨ ਜੋ ਐਂਡ ਇਫੈਕਟਰ ਅਤੇ ਵੇਫਰ ਦੇ ਵਿਚਕਾਰ ਇੱਕ ਪਤਲੀ ਹਵਾ ਫਿਲਮ ਬਣਾਉਣ ਲਈ ਦਬਾਅ ਵਾਲੀ ਗੈਸ ਨੂੰ ਬਾਹਰ ਕੱਢਦੇ ਹਨ। ਇਹ ਗੈਰ-ਸੰਪਰਕ ਸਿਧਾਂਤ ਪਿਛਲੇ ਪਾਸੇ ਦੀ ਗੰਦਗੀ, ਕਿਨਾਰੇ ਦੀ ਚਿੱਪਿੰਗ ਅਤੇ ਸਤਹ ਦੇ ਨੁਕਸਾਨ ਨੂੰ ਖਤਮ ਕਰਦਾ ਹੈ, ਇਸਨੂੰ ਪਤਲੇ (≤100 μm), ਨਾਜ਼ੁਕ, ਜਾਂ ਵਿਗੜੇ ਹੋਏ ਵੇਫਰਾਂ ਲਈ ਆਦਰਸ਼ ਬਣਾਉਂਦਾ ਹੈ। ਸਿਰੇਮਿਕ ਸਬਸਟਰੇਟ ਉੱਚ ਲਚਕਦਾਰ ਤਾਕਤ (Al₂O₃ ਲਈ 361 MPa; SiC ਲਈ 550-600 MPa ਤੱਕ), ਘੱਟ ਪੁੰਜ, ਅਤੇ ਸ਼ਾਨਦਾਰ ਅਯਾਮੀ ਸਥਿਰਤਾ ਪ੍ਰਦਾਨ ਕਰਦਾ ਹੈ, ਜੋ ਹਾਈ-ਸਪੀਡ ਵੇਫਰ ਟ੍ਰਾਂਸਫਰ ਰੋਬੋਟਾਂ ਵਿੱਚ ਦੁਹਰਾਉਣ ਯੋਗ ਸਥਿਤੀ ਨੂੰ ਯਕੀਨੀ ਬਣਾਉਂਦਾ ਹੈ।

ਸਮੱਗਰੀ 'ਤੇ ਨੋਟ:ਐਲੂਮਿਨਾ (Al₂O₃) ਸੈਮੀਕੰਡਕਟਰ ਵੇਫਰ ਹੈਂਡਲਿੰਗ ਵਿੱਚ ਸਿਰੇਮਿਕ ਐਂਡ ਇਫੈਕਟਰਾਂ ਲਈ ਸਭ ਤੋਂ ਵੱਧ ਵਰਤੀ ਜਾਣ ਵਾਲੀ ਸਮੱਗਰੀ ਹੈ ਕਿਉਂਕਿ ਇਸਦੀ ਕਠੋਰਤਾ, ਇਲੈਕਟ੍ਰੀਕਲ ਇਨਸੂਲੇਸ਼ਨ, ਰਸਾਇਣਕ ਸਥਿਰਤਾ, ਅਤੇ ਲਾਗਤ-ਪ੍ਰਭਾਵਸ਼ੀਲਤਾ ਦੇ ਸ਼ਾਨਦਾਰ ਸੁਮੇਲ ਕਾਰਨ। ਸਿਲੀਕਾਨ ਕਾਰਬਾਈਡ (SiC) ਸਭ ਤੋਂ ਵੱਧ ਮੰਗ ਵਾਲੇ ਐਪਲੀਕੇਸ਼ਨਾਂ ਲਈ ਉੱਚ ਥਰਮਲ ਚਾਲਕਤਾ, ਉੱਚ ਕਠੋਰਤਾ, ਅਤੇ ਹੋਰ ਵੀ ਬਿਹਤਰ ਪਹਿਨਣ ਪ੍ਰਤੀਰੋਧ ਦੀ ਪੇਸ਼ਕਸ਼ ਕਰਦਾ ਹੈ। ਜਦੋਂ ਕਿ yttria-ਸਥਿਰ ਜ਼ਿਰਕੋਨੀਆ (ZrO₂) ਕਮਰੇ ਦੇ ਤਾਪਮਾਨ 'ਤੇ ਉੱਚ ਫ੍ਰੈਕਚਰ ਕਠੋਰਤਾ ਦੀ ਪੇਸ਼ਕਸ਼ ਕਰਦਾ ਹੈ, ਇਸਦੀ ਉੱਚ ਘਣਤਾ ਅਤੇ ਵੱਖ-ਵੱਖ ਥਰਮਲ ਵਿਸਥਾਰ ਵਿਸ਼ੇਸ਼ਤਾਵਾਂ ਦੇ ਕਾਰਨ ਇਸ ਐਪਲੀਕੇਸ਼ਨ ਵਿੱਚ ਇਸਦੀ ਵਰਤੋਂ ਘੱਟ ਕੀਤੀ ਜਾਂਦੀ ਹੈ; ਇਸਨੂੰ ਖਾਸ ਸਥਿਤੀਆਂ ਲਈ ਵਿਚਾਰਿਆ ਜਾ ਸਕਦਾ ਹੈ ਜਿੱਥੇ ਅਸਧਾਰਨ ਫ੍ਰੈਕਚਰ ਕਠੋਰਤਾ ਦੀ ਲੋੜ ਹੁੰਦੀ ਹੈ। ਸਮੱਗਰੀ ਚੋਣ ਮਾਰਗਦਰਸ਼ਨ ਲਈ ਕਿਰਪਾ ਕਰਕੇ ਸਾਡੀ ਤਕਨੀਕੀ ਟੀਮ ਨਾਲ ਸਲਾਹ ਕਰੋ।

ਨਿਰਧਾਰਨ(99.8% Al 'ਤੇ ਆਧਾਰਿਤ)₂O₃):

ਸੰਚਾਲਨ ਸਿਧਾਂਤ:

ਸੰਕੁਚਿਤ ਹਵਾ ਜਾਂ ਨਾਈਟ੍ਰੋਜਨ (0.2–0.6 MPa) ਅੰਦਰੂਨੀ ਚੈਨਲਾਂ ਰਾਹੀਂ ਸਪਲਾਈ ਕੀਤੀ ਜਾਂਦੀ ਹੈ ਅਤੇ ਸ਼ੁੱਧਤਾ ਨੋਜ਼ਲਾਂ ਰਾਹੀਂ ਬਾਹਰ ਨਿਕਲਦੀ ਹੈ। ਪ੍ਰਵੇਗਿਤ ਹਵਾ ਦਾ ਪ੍ਰਵਾਹ ਅੰਤ ਪ੍ਰਭਾਵਕ (ਬਰਨੌਲੀ ਪ੍ਰਭਾਵ) ਦੇ ਉੱਪਰ ਇੱਕ ਘੱਟ-ਦਬਾਅ ਵਾਲਾ ਜ਼ੋਨ ਬਣਾਉਂਦਾ ਹੈ, ਜੋ ਲਿਫਟਿੰਗ ਫੋਰਸ ਪੈਦਾ ਕਰਦਾ ਹੈ ਜੋ 50–200 μm ਦੇ ਪਾੜੇ 'ਤੇ ਵੇਫਰ ਦਾ ਸਮਰਥਨ ਕਰਦਾ ਹੈ। ਕੋਈ ਵੀ ਵੈਕਿਊਮ ਛੇਕ ਜਾਂ ਪੈਡ ਵੇਫਰ ਦੇ ਪਿਛਲੇ ਪਾਸੇ ਨਾਲ ਸੰਪਰਕ ਨਹੀਂ ਕਰਦੇ।

ਐਪਲੀਕੇਸ਼ਨ:

• · ਪਿਛਲੇ ਪਾਸੇ ਪੀਸਣ ਤੋਂ ਬਾਅਦ ਪਤਲਾ ਵੇਫਰ (≤50 μm) ਹੈਂਡਲਿੰਗ
• · ਵਾਰਪਡ ਵੇਫਰ ਟ੍ਰਾਂਸਪੋਰਟ (ਜਿਵੇਂ ਕਿ ਸੀਵੀਡੀ ਜਾਂ ਐਨੀਲਿੰਗ ਤੋਂ ਬਾਅਦ)
• · ਸੋਲਰ ਸੈੱਲ ਅਤੇ LED ਨੀਲਮ ਸਬਸਟਰੇਟ ਟ੍ਰਾਂਸਫਰ
• · ਸਾਫ਼-ਸੁਥਰਾ ਆਟੋਮੇਸ਼ਨ ਜਿਸ ਲਈ ਜ਼ੀਰੋ ਕਣ ਪੈਦਾ ਕਰਨ ਦੀ ਲੋੜ ਹੁੰਦੀ ਹੈ
• · ਡਿਸਪਲੇ ਨਿਰਮਾਣ ਵਿੱਚ ਕੱਚ ਦੇ ਪੈਨਲ ਦੀ ਸੰਭਾਲ

ਨਿਰਮਾਣ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ:

ਸਿਰੇਮਿਕ ਸਬਸਟ੍ਰੇਟ ਨੂੰ ਉੱਚ-ਸ਼ੁੱਧਤਾ ਵਾਲੇ ਪਾਊਡਰ → ਗੈਸ ਚੈਨਲਾਂ ਅਤੇ ਨੋਜ਼ਲ ਛੇਕਾਂ ਦੀ 5-ਧੁਰੀ CNC ਮਸ਼ੀਨਿੰਗ (ਵਿਆਸ 0.3–1.0 ਮਿਲੀਮੀਟਰ, ਸਹਿਣਸ਼ੀਲਤਾ ±0.01 ਮਿਲੀਮੀਟਰ) → ਸਤ੍ਹਾ ਨੂੰ Ra ≤0.4 μm ਤੱਕ ਲੈਪਿੰਗ → ਅਲਟਰਾਸੋਨਿਕ ਸਫਾਈ → ਹੀਲੀਅਮ ਲੀਕ ਟੈਸਟ (ਗੈਸ ਚੈਨਲ) ਤੋਂ ਸਿੰਟਰ ਕੀਤਾ ਗਿਆ। ਕੋਈ ਪਰਤ ਦੀ ਲੋੜ ਨਹੀਂ — ਨੰਗੀ ਸਿਰੇਮਿਕ ਸਤਹ ਰਸਾਇਣਕ ਤੌਰ 'ਤੇ ਅਯੋਗ ਅਤੇ ਗੈਰ-ਦੂਸ਼ਿਤ ਹੈ।

ਗੁਣਵੱਤਾ ਕੰਟਰੋਲ:

• · ਨੋਜ਼ਲ ਸਥਿਤੀਆਂ, ਬਾਂਹ ਦੀ ਲੰਬਾਈ, ਅਤੇ ਸਮਤਲਤਾ ਦਾ 100% ਆਯਾਮੀ ਨਿਰੀਖਣ (CMM)
• · ਹਵਾ ਦੇ ਪ੍ਰਵਾਹ ਦੀ ਇਕਸਾਰਤਾ ਟੈਸਟ: ਸਾਰੇ ਨੋਜ਼ਲਾਂ ਵਿੱਚ ਦਬਾਅ ਦੀ ਗਿਰਾਵਟ ≤5%
• · ਲੀਕ ਟੈਸਟ: ਗੈਸ ਚੈਨਲ 0.6 MPa 'ਤੇ ਸੀਲ ਕੀਤੇ ਗਏ, 30 ਸਕਿੰਟਾਂ ਤੋਂ ਵੱਧ ਦਬਾਅ ਵਿੱਚ ਕੋਈ ਗਿਰਾਵਟ ਨਹੀਂ
• · ਸੂਖਮ-ਚਿੜਕਾਂ ਜਾਂ ਬੁਰਰਾਂ ਲਈ 20× ਮਾਈਕ੍ਰੋਸਕੋਪ ਦੇ ਹੇਠਾਂ ਵਿਜ਼ੂਅਲ ਨਿਰੀਖਣ

Aਰਵਾਇਤੀ ਸੰਪਰਕ ਅੰਤ ਪ੍ਰਭਾਵਕਾਂ ਦੇ ਫਾਇਦੇ:

• · ਜ਼ੀਰੋ ਵੇਫਰ ਬੈਕਸਾਈਡ ਦੂਸ਼ਣ - ਕੋਈ ਮਕੈਨੀਕਲ ਸੰਪਰਕ ਨਹੀਂ
• · ਪਤਲੇ ਵੇਫਰਾਂ ਦੇ ਕਿਨਾਰੇ ਚਿੱਪਿੰਗ ਜਾਂ ਟੁੱਟਣ ਦੀ ਕੋਈ ਸੰਭਾਵਨਾ ਨਹੀਂ
• · ਸਥਿਰ ਪਾੜੇ ਵਾਲੇ ਵਿਗੜੇ ਹੋਏ ਵੇਫਰਾਂ (1 ਮਿਲੀਮੀਟਰ ਬੋਅ ਤੱਕ) ਨੂੰ ਹੈਂਡਲ ਕਰਦਾ ਹੈ।
• · ਵੈਕਿਊਮ ਜਨਰੇਟਰ ਅਤੇ ਪੋਰਸ ਚੱਕ ਰੱਖ-ਰਖਾਅ ਨੂੰ ਖਤਮ ਕਰਦਾ ਹੈ
• · ਸਿਰੇਮਿਕ ਨਿਰਮਾਣ ਘਿਸਾਅ ਅਤੇ ਰਸਾਇਣਕ ਹਮਲੇ ਦਾ ਵਿਰੋਧ ਕਰਦਾ ਹੈ

ਕਸਟਮਾਈਜ਼ੇਸ਼ਨ:

• · 200 ਮਿਲੀਮੀਟਰ, 300 ਮਿਲੀਮੀਟਰ, ਜਾਂ ਕਸਟਮ ਵੇਫਰ ਆਕਾਰਾਂ ਲਈ ਉਪਲਬਧ।
• · ਗੈਸ ਨੋਜ਼ਲ ਪੈਟਰਨ: ਸਿੱਧੇ, ਕੋਣ ਵਾਲੇ, ਜਾਂ ਵੌਰਟੈਕਸ ਕਿਸਮਾਂ
• · ਸਮੱਗਰੀ: ਐਲੂਮਿਨਾ (ਮਿਆਰੀ) ਜਾਂ ਸਿਲੀਕਾਨ ਕਾਰਬਾਈਡ (ਸਭ ਤੋਂ ਵੱਧ ਥਰਮਲ ਚਾਲਕਤਾ ਅਤੇ ਪਹਿਨਣ ਪ੍ਰਤੀਰੋਧ ਲਈ)
• · OEM ਡਰਾਇੰਗ ਪ੍ਰਤੀ ਬਾਂਹ ਦੀ ਲੰਬਾਈ, ਮਾਊਂਟਿੰਗ ਫਲੈਂਜ, ਅਤੇ ਗੈਸ ਪੋਰਟ ਸਥਾਨ

ਸੀਮਾਵਾਂ:

ਬਰਨੌਲੀ ਸਿਧਾਂਤ ਲਾਗੂਕਰਨ (ਨੋਜ਼ਲ ਡਿਜ਼ਾਈਨ, ਏਅਰ ਗੈਪ) ਪ੍ਰਦਾਨ ਕੀਤੇ ਗਏ ਮਟੀਰੀਅਲ ਪ੍ਰਾਪਰਟੀ ਟੇਬਲਾਂ ਦੇ ਦਾਇਰੇ ਤੋਂ ਬਾਹਰ ਹੈ। ਉੱਪਰ ਦਿੱਤੇ ਮਕੈਨੀਕਲ ਅਤੇ ਥਰਮਲ ਗੁਣ 99.8% Al₂O₃ ਲਈ ਸਪਲਾਈ ਕੀਤੇ ਡੇਟਾਸ਼ੀਟਾਂ ਦੀ ਸਖਤੀ ਨਾਲ ਪਾਲਣਾ ਕਰਦੇ ਹਨ। ਇਹਨਾਂ ਮਟੀਰੀਅਲ ਗੁਣਾਂ ਦੇ ਆਧਾਰ 'ਤੇ ਦਬਾਅ ਵਾਲੇ ਗੈਸ ਪ੍ਰਵਾਹ ਅਧੀਨ ਸਿਰੇਮਿਕ ਦੇ ਪ੍ਰਦਰਸ਼ਨ ਵਿੱਚ ਕੋਈ ਗਿਰਾਵਟ ਦੀ ਉਮੀਦ ਨਹੀਂ ਹੈ। ਗੈਸ ਪ੍ਰਵਾਹ ਪ੍ਰਤੀ ਸੰਵੇਦਨਸ਼ੀਲ ਵੇਫਰਾਂ (ਜਿਵੇਂ ਕਿ, ਨਾਜ਼ੁਕ ਬਣਤਰਾਂ ਵਾਲੇ MEMS) ਲਈ, ਗੈਸ ਪ੍ਰੈਸ਼ਰ ਅਤੇ ਨੋਜ਼ਲ ਡਿਜ਼ਾਈਨ ਨੂੰ ਉਸ ਅਨੁਸਾਰ ਐਡਜਸਟ ਕੀਤਾ ਜਾਣਾ ਚਾਹੀਦਾ ਹੈ।