ਪਲਾਜ਼ਮਾ ਐਚ ਅਤੇ ਸੀਵੀਡੀ ਸਿਸਟਮ ਲਈ ਉੱਚ-ਸ਼ੁੱਧਤਾ ਐਲੂਮਿਨਾ ਚੈਂਬਰ ਫੋਕਸ ਰਿੰਗ

ਸੇਂਟ ਸੇਰਾ ਦਾ ਚੈਂਬਰ ਫੋਕਸ ਰਿੰਗ ਇੱਕ ਮਹੱਤਵਪੂਰਨ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਕਿੱਟ ਕੰਪੋਨੈਂਟ ਹੈ ਜੋ ਪਲਾਜ਼ਮਾ ਐਚ, ਸੀਵੀਡੀ, ਅਤੇ ਪੀਵੀਡੀ ਸੈਮੀਕੰਡਕਟਰ ਉਪਕਰਣਾਂ ਵਿੱਚ ਵਰਤਿਆ ਜਾਂਦਾ ਹੈ। 99.8% ਉੱਚ-ਸ਼ੁੱਧਤਾ ਵਾਲੇ ਐਲੂਮਿਨਾ (Al₂O₃) ਤੋਂ ਨਿਰਮਿਤ, ਇਹ ਰਿੰਗ ਪਲਾਜ਼ਮਾ ਨੂੰ ਸੀਮਤ ਕਰਨ ਅਤੇ ਆਇਨ ਐਂਗੁਲਰ ਵੰਡ ਨੂੰ ਅਨੁਕੂਲ ਬਣਾਉਣ ਲਈ ਵੇਫਰ ਕਿਨਾਰੇ ਨੂੰ ਘੇਰਦੀ ਹੈ, ਜਿਸ ਨਾਲ ਵੇਫਰ ਸਤ੍ਹਾ ਵਿੱਚ ਐਚ ਇਕਸਾਰਤਾ ਵਿੱਚ ਸੁਧਾਰ ਹੁੰਦਾ ਹੈ। ਇਹ ਸਮੱਗਰੀ ਬੇਮਿਸਾਲ ਪਲਾਜ਼ਮਾ ਪ੍ਰਤੀਰੋਧ, ਉੱਚ ਡਾਈਇਲੈਕਟ੍ਰਿਕ ਤਾਕਤ (15×10⁶ V/m), ਅਤੇ 1600°C ਤੱਕ ਥਰਮਲ ਸਥਿਰਤਾ ਦੀ ਪੇਸ਼ਕਸ਼ ਕਰਦੀ ਹੈ, ਜੋ ਹਮਲਾਵਰ ਫਲੋਰੀਨ- ਜਾਂ ਕਲੋਰੀਨ-ਅਧਾਰਤ ਪਲਾਜ਼ਮਾ ਵਾਤਾਵਰਣ ਵਿੱਚ ਲੰਬੇ ਸਮੇਂ ਦੀ ਭਰੋਸੇਯੋਗਤਾ ਨੂੰ ਯਕੀਨੀ ਬਣਾਉਂਦੀ ਹੈ। ਸ਼ੁੱਧਤਾ-ਜ਼ਮੀਨ ID/OD ਅਤੇ ਸਮਤਲਤਾ (≤10 μm) ਸਹੀ ਵੇਫਰ ਕਿਨਾਰੇ ਦੀ ਸਥਿਤੀ ਨੂੰ ਸਮਰੱਥ ਬਣਾਉਂਦੀ ਹੈ, ਕਿਨਾਰੇ ਦੇ ਨੁਕਸ ਅਤੇ ਕਣ ਉਤਪਾਦਨ ਨੂੰ ਘਟਾਉਂਦੀ ਹੈ।

ਨਿਰਧਾਰਨ(99.8% Al 'ਤੇ ਆਧਾਰਿਤ)₂O₃):

ਐਪਲੀਕੇਸ਼ਨ:

• · ਡਾਈਇਲੈਕਟ੍ਰਿਕ ਐਚ ਚੈਂਬਰ ਫੋਕਸ ਰਿੰਗ (ਆਕਸਾਈਡ, ਨਾਈਟਰਾਈਡ ਐਚ)
• · ਸਿਲੀਕਾਨ ਐਚ ਚੈਂਬਰ ਦੇ ਕਿਨਾਰੇ ਦੇ ਰਿੰਗ
• · ਸੀਵੀਡੀ ਚੈਂਬਰ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਕਿੱਟ ਰਿੰਗ
• · ਪੀਵੀਡੀ ਚੈਂਬਰ ਸ਼ੀਲਡ ਅਤੇ ਕਲੈਂਪ ਰਿੰਗ

ਨਿਰਮਾਣ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ:

ਉੱਚ-ਸ਼ੁੱਧਤਾ ਵਾਲੇ ਐਲੂਮਿਨਾ ਪਾਊਡਰ ਨੂੰ ਆਈਸੋਸਟੈਟਿਕ ਤੌਰ 'ਤੇ ਦਬਾਇਆ ਜਾਂਦਾ ਹੈ → ਹਰੇ ਰੰਗ ਦੀ ਮਸ਼ੀਨ ਨਾਲ ਲਗਭਗ-ਨੈੱਟ ਆਕਾਰ ਤੱਕ → 1600°C 'ਤੇ ਸਿੰਟਰ ਕੀਤਾ ਜਾਂਦਾ ਹੈ → ID, OD, ਅਤੇ ਮੋਟਾਈ ਦਾ CNC ਹੀਰਾ ਪੀਸਿਆ ਜਾਂਦਾ ਹੈ → ਸਮਤਲਤਾ ≤10 μm → ਅਲਟਰਾਸੋਨਿਕ ਸਫਾਈ → 100% CMM ਨਿਰੀਖਣ ਪ੍ਰਾਪਤ ਕਰਨ ਲਈ ਲੈਪਿੰਗ ਕੀਤੀ ਜਾਂਦੀ ਹੈ। ਸਤਹ ਫਿਨਿਸ਼ Ra ≤0.4 μm ਕਣਾਂ ਦੇ ਅਡੈਸ਼ਨ ਨੂੰ ਘੱਟ ਕਰਦਾ ਹੈ।

ਗੁਣਵੱਤਾ ਕੰਟਰੋਲ:

• · 100% ਆਯਾਮੀ ਨਿਰੀਖਣ (ਆਈਡੀ, ਓਡੀ, ਮੋਟਾਈ, ਸਮਾਨਤਾ)
• · ਸੂਖਮ-ਦਰਦਾਂ ਲਈ ਡਾਈ ਪ੍ਰਵੇਸ਼ ਟੈਸਟ (ਕੋਈ ਦਰਾੜ ਦੀ ਆਗਿਆ ਨਹੀਂ)
• · 20× ਮਾਈਕ੍ਰੋਸਕੋਪ ਦੇ ਹੇਠਾਂ ਵਿਜ਼ੂਅਲ ਨਿਰੀਖਣ - ਕੋਈ ਚਿਪਸ, ਖਾਲੀਪਣ, ਜਾਂ ਰੰਗ-ਬਿਰੰਗਾਈ ਨਹੀਂ
• · ASTM D149 (ਨਮੂਨਾ) ਪ੍ਰਤੀ ਡਾਇਇਲੈਕਟ੍ਰਿਕ ਤਾਕਤ ਟੈਸਟ

ਸਿਲੀਕਾਨ ਜਾਂ ਕੁਆਰਟਜ਼ ਫੋਕਸ ਰਿੰਗਾਂ ਨਾਲੋਂ ਫਾਇਦੇ:

• · ਫਲੋਰੋਕਾਰਬਨ ਪਲਾਜ਼ਮਾ ਵਿੱਚ 5-10× ਲੰਬਾ ਜੀਵਨ ਕਾਲ
• · ਵੇਫਰਾਂ ਨੂੰ ਦੂਸ਼ਿਤ ਕਰਨ ਲਈ ਕੋਈ ਖਪਤਯੋਗ ਕਟੌਤੀ ਦੇ ਕਣ ਨਹੀਂ
• · ਉੱਚ ਡਾਈਇਲੈਕਟ੍ਰਿਕ ਤਾਕਤ ਆਰਸਿੰਗ ਨੂੰ ਰੋਕਦੀ ਹੈ
• · ਹਜ਼ਾਰਾਂ RF ਘੰਟਿਆਂ ਵਿੱਚ ਸਮਤਲਤਾ ਅਤੇ ਆਯਾਮੀ ਸ਼ੁੱਧਤਾ ਬਣਾਈ ਰੱਖਦਾ ਹੈ।

ਵਿਕਲਪਕ ਸਮੱਗਰੀ — ਯਟ੍ਰੀਆ-ਸਥਿਰ ਜ਼ਿਰਕੋਨੀਆ (ZrO2)₂):

ਉਹਨਾਂ ਐਪਲੀਕੇਸ਼ਨਾਂ ਲਈ ਜਿਨ੍ਹਾਂ ਨੂੰ ਉੱਚ ਫ੍ਰੈਕਚਰ ਸਖ਼ਤਤਾ ਦੀ ਲੋੜ ਹੁੰਦੀ ਹੈ (ਜਿਵੇਂ ਕਿ, ਅਕਸਰ ਥਰਮਲ ਸਾਈਕਲਿੰਗ ਜਾਂ ਮਕੈਨੀਕਲ ਝਟਕੇ ਵਾਲੇ ਚੈਂਬਰ), ZrO₂ ਫੋਕਸ ਰਿੰਗ (ਘਣਤਾ 6.03 g/cm³, ਲਚਕੀਲਾ ਤਾਕਤ 1000 MPa, ਫ੍ਰੈਕਚਰ ਸਖ਼ਤਤਾ 5–8 MPa·m¹/²) ਉਪਲਬਧ ਹਨ। ਹਾਲਾਂਕਿ, ਐਲੂਮਿਨਾ ਬਿਹਤਰ ਲਾਗਤ-ਪ੍ਰਭਾਵ ਪ੍ਰਦਾਨ ਕਰਦੀ ਹੈ ਅਤੇ ਜ਼ਿਆਦਾਤਰ ਫੋਕਸ ਰਿੰਗ ਐਪਲੀਕੇਸ਼ਨਾਂ ਲਈ ਉਦਯੋਗ ਦਾ ਮਿਆਰ ਹੈ।

ਕਸਟਮਾਈਜ਼ੇਸ਼ਨ:

• · ਗਾਹਕ ਡਰਾਇੰਗ ਅਨੁਸਾਰ ਸਟੈਪ ਪ੍ਰੋਫਾਈਲ, ਕਾਊਂਟਰਬੋਰ, ਜਾਂ ਮਾਊਂਟਿੰਗ ਹੋਲ
• · ਵਧੇ ਹੋਏ ਪਲਾਜ਼ਮਾ ਇਰੋਜ਼ਨ ਰੋਧ ਲਈ Y₂O₃ ਕੋਟਿੰਗ (ਮੋਟਾਈ 20–100 μm)
• · ਭਾਗ ਨੰਬਰ, ਮਿਤੀ ਕੋਡ, ਜਾਂ ਅਲਾਈਨਮੈਂਟ ਮਾਰਕਸ ਦੀ ਲੇਜ਼ਰ ਮਾਰਕਿੰਗ

ਨੋਟ:ਸਾਰਾ ਡਾਟਾ ਸਪਲਾਈ ਕੀਤੇ Al₂O₃ ਪ੍ਰਾਪਰਟੀ ਟੇਬਲ ਦੀ ਸਖ਼ਤੀ ਨਾਲ ਪਾਲਣਾ ਕਰਦਾ ਹੈ। ZrO₂ ਵਿਸ਼ੇਸ਼ਤਾਵਾਂ ਲਈ, ਸਪਲਾਈ ਕੀਤੇ ਜ਼ੀਰਕੋਨਿਆ ਡੇਟਾਸ਼ੀਟ ਨੂੰ ਵੇਖੋ। ਫੋਕਸ ਰਿੰਗ ਡਿਜ਼ਾਈਨਾਂ ਲਈ ਪੇਟੈਂਟ ਕਲੀਅਰੈਂਸ ਦੀ ਲੋੜ ਹੋ ਸਕਦੀ ਹੈ — ਗਾਹਕ ਬੌਧਿਕ ਸੰਪਤੀ ਅਧਿਕਾਰਾਂ ਦੀ ਪੁਸ਼ਟੀ ਕਰਨ ਲਈ ਜ਼ਿੰਮੇਵਾਰ ਹਨ।