-
ਵੇਫਰ ਹੈਂਡਲਿੰਗ ਲਈ ਉੱਚ-ਸ਼ੁੱਧਤਾ ਵਾਲਾ ਐਲੂਮਿਨਾ ਸਿਰੇਮਿਕ ਰੋਬੋਟ ਆਰਮ
ਸੇਂਟ ਸੇਰਾ ਦਾ ਐਲੂਮਿਨਾ ਸਿਰੇਮਿਕ ਰੋਬੋਟ ਆਰਮ 99.8% ਉੱਚ-ਸ਼ੁੱਧਤਾ ਵਾਲੇ Al₂O₃ (ਐਲੂਮਿਨਾ) ਤੋਂ ਸ਼ੁੱਧਤਾ-ਇੰਜੀਨੀਅਰ ਕੀਤਾ ਗਿਆ ਹੈ। ਇਹ ਬੇਮਿਸਾਲ ਲਚਕਦਾਰ ਤਾਕਤ (361 MPa), ਉੱਚ ਕਠੋਰਤਾ (16 GPa), ਅਤੇ ਘੱਟ ਘਣਤਾ (3.93 g/cm³) ਨੂੰ ਜੋੜਦਾ ਹੈ, ਜਿਸਦੇ ਨਤੀਜੇ ਵਜੋਂ ਸੈਮੀਕੰਡਕਟਰ ਵੇਫਰ ਟ੍ਰਾਂਸਫਰ ਲਈ ਇੱਕ ਹਲਕਾ ਪਰ ਸਖ਼ਤ ਆਰਮ ਬਣਦਾ ਹੈ। ਸਮੱਗਰੀ ਦਾ ਥਰਮਲ ਐਕਸਪੈਂਸ਼ਨ ਗੁਣਾਂਕ (7.2×10⁻⁶/°C) ਸਿਲੀਕਾਨ ਨਾਲ ਨੇੜਿਓਂ ਮੇਲ ਖਾਂਦਾ ਹੈ, ਪ੍ਰੋਸੈਸਿੰਗ ਦੌਰਾਨ ਥਰਮਲ ਬੇਮੇਲ ਨੂੰ ਘੱਟ ਕਰਦਾ ਹੈ।
-
ਬਰਨੌਲੀ ਸਿਰੇਮਿਕ ਐਂਡ ਇਫੈਕਟਰ — ਪਤਲੇ ਅਤੇ ਨਾਜ਼ੁਕ ਵੇਫਰਾਂ ਲਈ ਗੈਰ-ਸੰਪਰਕ ਵੇਫਰ ਹੈਂਡਲਿੰਗ
ਸੇਂਟ ਸੇਰਾ ਦਾ ਬਰਨੌਲੀ ਸਿਰੇਮਿਕ ਐਂਡ ਇਫੈਕਟਰ ਬਿਨਾਂ ਕਿਸੇ ਭੌਤਿਕ ਸੰਪਰਕ ਦੇ ਵੇਫਰਾਂ ਨੂੰ ਸੰਭਾਲਣ ਲਈ ਐਰੋਡਾਇਨਾਮਿਕ ਲਿਫਟ ਦੀ ਵਰਤੋਂ ਕਰਦਾ ਹੈ। ਉੱਚ-ਸ਼ੁੱਧਤਾ ਵਾਲੇ 99.8% ਐਲੂਮਿਨਾ (Al₂O₃) ਜਾਂ ਸਿਲੀਕਾਨ ਕਾਰਬਾਈਡ (SiC) ਤੋਂ ਨਿਰਮਿਤ, ਇਸ ਵਿੱਚ ਸ਼ੁੱਧਤਾ-ਮਸ਼ੀਨ ਵਾਲੇ ਨੋਜ਼ਲ ਹਨ ਜੋ ਐਂਡ ਇਫੈਕਟਰ ਅਤੇ ਵੇਫਰ ਦੇ ਵਿਚਕਾਰ ਇੱਕ ਪਤਲੀ ਹਵਾ ਫਿਲਮ ਬਣਾਉਣ ਲਈ ਦਬਾਅ ਵਾਲੀ ਗੈਸ ਨੂੰ ਬਾਹਰ ਕੱਢਦੇ ਹਨ। ਇਹ ਗੈਰ-ਸੰਪਰਕ ਸਿਧਾਂਤ ਪਿਛਲੇ ਪਾਸੇ ਦੀ ਗੰਦਗੀ, ਕਿਨਾਰੇ ਦੀ ਚਿੱਪਿੰਗ ਅਤੇ ਸਤਹ ਦੇ ਨੁਕਸਾਨ ਨੂੰ ਖਤਮ ਕਰਦਾ ਹੈ, ਇਸਨੂੰ ਪਤਲੇ (≤100 μm), ਨਾਜ਼ੁਕ, ਜਾਂ ਵਿਗੜੇ ਹੋਏ ਵੇਫਰਾਂ ਲਈ ਆਦਰਸ਼ ਬਣਾਉਂਦਾ ਹੈ। ਸਿਰੇਮਿਕ ਸਬਸਟਰੇਟ ਉੱਚ ਲਚਕਦਾਰ ਤਾਕਤ (Al₂O₃ ਲਈ 361 MPa; SiC ਲਈ 550-600 MPa ਤੱਕ), ਘੱਟ ਪੁੰਜ, ਅਤੇ ਸ਼ਾਨਦਾਰ ਅਯਾਮੀ ਸਥਿਰਤਾ ਪ੍ਰਦਾਨ ਕਰਦਾ ਹੈ, ਜੋ ਹਾਈ-ਸਪੀਡ ਵੇਫਰ ਟ੍ਰਾਂਸਫਰ ਰੋਬੋਟਾਂ ਵਿੱਚ ਦੁਹਰਾਉਣ ਯੋਗ ਸਥਿਤੀ ਨੂੰ ਯਕੀਨੀ ਬਣਾਉਂਦਾ ਹੈ।
-
ਟੈਫਲੋਨ ਕੋਟੇਡ ਸਿਰੇਮਿਕ ਐਂਡ ਇਫੈਕਟਰ - ਸੰਵੇਦਨਸ਼ੀਲ ਵੇਫਰ ਹੈਂਡਲਿੰਗ ਲਈ ਨਾਨ-ਸਟਿੱਕ ਸਤਹ
ਸੇਂਟ ਸੇਰਾ ਦਾ ਟੈਫਲੋਨ (PTFE) ਕੋਟੇਡ ਸਿਰੇਮਿਕ ਐਂਡ ਇਫੈਕਟਰ ਇੱਕ ਉੱਚ-ਸ਼ਕਤੀ ਵਾਲੇ ਐਲੂਮਿਨਾ ਸਬਸਟ੍ਰੇਟ ਨੂੰ ਇੱਕ ਸਮਾਨ, ਘੱਟ-ਰਗੜ PTFE ਕੋਟਿੰਗ (ਮੋਟਾਈ 15–30 μm) ਨਾਲ ਜੋੜਦਾ ਹੈ। ਇਹ ਕੋਟਿੰਗ ਬਹੁਤ ਘੱਟ ਰਗੜ ਗੁਣਾਂਕ (≤0.1), ਸ਼ਾਨਦਾਰ ਰਸਾਇਣਕ ਪ੍ਰਤੀਰੋਧ, ਅਤੇ ਨਾਨ-ਸਟਿੱਕ ਗੁਣ ਪ੍ਰਦਾਨ ਕਰਦੀ ਹੈ, ਵੇਫਰ ਅਡੈਸ਼ਨ ਨੂੰ ਰੋਕਦੀ ਹੈ ਅਤੇ ਬੈਕਸਾਈਡ ਗੰਦਗੀ ਨੂੰ ਖਤਮ ਕਰਦੀ ਹੈ। ਅੰਡਰਲਾਈੰਗ ਸਿਰੇਮਿਕ ਸਬਸਟ੍ਰੇਟ (99.8% Al₂O₃) ਉੱਚ ਲਚਕਦਾਰ ਤਾਕਤ (361–1000 MPa), ਪਹਿਨਣ ਪ੍ਰਤੀਰੋਧ, ਅਤੇ 260°C (ਕੋਟਿੰਗ ਸੀਮਾ) ਤੱਕ ਥਰਮਲ ਸਥਿਰਤਾ ਦੀ ਪੇਸ਼ਕਸ਼ ਕਰਦੀ ਹੈ। ਇਹ ਐਂਡ ਇਫੈਕਟਰ ਨਾਜ਼ੁਕ, ਪਤਲੇ, ਜਾਂ ਸਟਿੱਕੀ ਵੇਫਰਾਂ ਨੂੰ ਸੰਭਾਲਣ ਲਈ ਆਦਰਸ਼ ਹੈ (ਉਦਾਹਰਨ ਲਈ, ਫੋਟੋਰੇਸਿਸਟ ਕੋਟਿੰਗ ਜਾਂ ਰਸਾਇਣਕ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆਵਾਂ ਤੋਂ ਬਾਅਦ)।
